Mẫu cho kính hiển vi điện tử quét (SEM) bao gồm tất cả các loại vật liệu, hình dạng và kích cỡ khác nhau. Kỹ thuật chuẩn bị do đó phải được đặt ra để thực hiện được với tất cả sự khác nhau từ các mẫu hoàn hảo đến các mẫu phức tạ. Do đó rất khó để có một phương pháp chuẩn cho chuẩn bị mẫu thậm chí là phân loại phương pháp theo mẫu cũng rất khó khăn. Bài viết về chuẩn bị mẫu cho SEM dưới đây cũng chỉ là tổng hợp mang tính độc lập và cố gắng phân nhóm trong một phạm vi hẹp. Người sử dụng cần phát triển hoặc thay đổi để phù hợp nhất với mẫu của mình dựa trên các thử nghiệm thực tế.