Kết hợp máy phân tích Virsa™ Raman với các kỹ thuật phân tích khác

Phân tích đa phương thức

Máy phân tích Virsa Raman có thể được ghép nối với các thiết bị khoa học khác cho phép đo đa phương thức trên cùng một mẫu. Điều này có thể giúp bạn hiểu rõ hơn về mối quan hệ giữa tính chất và thành phần hóa học của vật liệu.

Phổ Raman có thể cung cấp nhiều thông tin về các đặc tính hóa học, tinh thể và cấu trúc của mẫu. Kết hợp phổ Raman với các kỹ thuật khoa học khác để hiểu rõ hơn về mẫu của bạn. Ghi chú này chứng minh cách ghép nối máy phân tích Virsa với một thiết bị phân tích khác dễ dàng như thế nào.

Phổ Raman kết hợp với Máy phân tích Virsa™ Raman

Máy phân tích Virsa lý tưởng để tích hợp với nhiều loại thiết bị khoa học. Bằng cách kết hợp máy phân tích Virsa với các kỹ thuật khác, bạn có thể thu được phân tích bổ sung in-situ (tại chỗ), tất cả cùng một lúc. Sau đây là một số tính năng chính của máy phân tích Virsa:

• Đầu dò có độ phân giải không gian cao với hiệu suất cấp nghiên cứu để phân tích vi mô nhanh chóng
• Thiết kế nhỏ gọn và dạng mô-đun để đặt trên băng ghế hoặc trong giá đỡ 19” tiêu chuẩn công nghiệp, dễ dàng đặt cạnh nhau với thiết bị hiện có
• Đầu dò sợi quang cho phép lấy mẫu từ xa linh hoạt
• Hỗ trợ một loạt các đầu dò, để phân tích tối ưu hóa khối lượng lấy mẫu khác nhau hoặc ở khoảng cách làm việc khác nhau
• Kết nối với nhiều đầu dò để có thể kết nối nhiều thiết bị khác nhau với một máy phân tích Virsa
• Định vị đầu dò chính xác và nhắm mục tiêu mẫu với Giá đỡ đầu dò ba trục có động cơ SB100 và bộ camera
• Mô-đun phần mềm Correlate™ có thể chồng lên nhau và so sánh Dữ liệu Raman với hình ảnh từ các thiết bị khác
• Kích hoạt phần cứng và phần mềm cho Raman đồng bộ đo lường bằng thiết bị của bên thứ ba

Kết hợp MWIR-Raman nhiệt ảnh

Trong ví dụ này, chúng tôi chứng minh cách độ phân giải không gian cao hơn của máy phân tích Virsa tăng cường kỹ thuật hiện có được sử dụng để thử nghiệm chất bán dẫn. Khi thiết kế và chế tạo các thiết bị bán dẫn, nhiệt độ hoạt động cực đại của thiết bị là một thông số có giá trị ảnh hưởng đến cả hiệu suất và tuổi thọ của thiết bị. Máy phân tích Renishaw Virsa Raman được ghép nối với InfraScope hồng ngoại bước sóng trung bình (MWIR) của QFI, một thiết bị được sử dụng để tiến hành các phép đo nhiệt trên các thiết bị bán dẫn (Hình 1 và 2).

Hệ thống kết hợp này được thiết kế đặc biệt để cho phép xác định chính xác nhiệt độ trong các lớp cấu trúc của thiết bị. Hệ thống sử dụng phép đo nhiệt độ MWIR để xác định và định vị các điểm nóng trong các thiết bị bán dẫn và sau đó sử dụng quang phổ Raman để đo nhiệt độ đỉnh trong các vùng này. Sự căn chỉnh và độ ổn định là rất quan trọng trong ứng dụng này, điều này có thể dễ dàng đạt được bằng máy phân tích Virsa.

Kết quả

Các phép đo nhiệt ảnh kết hợp đã được thực hiện trên một transistor GaN thương mại có độ linh động điện tử cao (HEMT). Các phép đo MWIR đã được thực hiện trên toàn bộ cấu trúc thiết bị (Hình 3). Các phép đo này đã được sử dụng để xác định vị trí vùng nhiệt độ đỉnh, được đánh dấu màu đen trong Hình 3. Sau đó, các phép đo nhiệt ảnh Raman mục tiêu đã được thực hiện đối với vùng này. Nhiệt độ thiết bị được đo bằng cả hai kỹ thuật được hiển thị trong Hình 4.

Ở đây có thể thấy rằng nhiệt độ MWIR thấp hơn nhiệt độ Raman khoảng 20%, mặc dù cả hai đều cho kết quả như nhau khi quan sát nguồn nóng số lượng lớn. Sự khác biệt này có thể là do độ phân giải không gian cao hơn của kỹ thuật Raman, mang lại phép đo chính xác hơn về điểm nóng cục bộ nhỏ. Các phép đo Raman đại diện nhiều hơn cho nhiệt độ đỉnh của thiết bị và do đó hữu ích hơn cho việc mô tả thiết bị và mô hình hóa tuổi thọ của thiết bị.

Để biết thêm chi tiết về Kết hợp máy phân tích Virsa™ Raman và Application Note hoàn chỉnh, xin vui lòng liên hệ ADGroup.