Helios 5 PFIB CXe DualBeam

Độ phân giải cao nhất với độ tương phản vật liệu chính xác nhất

Helios 5 PFIB CXe DualBeam tích hợp nguồn electron siêu sáng với công nghệ monochromator UC+ thế hệ tiếp theo để giảm sự phân tán năng lượng của tia dưới 0.2 eV cho dòng tia lên đến 100 pA. Điều này cho phép đạt được độ phân giải dưới nanomet và độ nhạy bề mặt cao nhất ở năng lượng hạ cánh thấp. Cột Electron Elstar độc đáo có khả năng cung cấp hình ảnh có độ phân giải cao chưa từng có của hệ thống. Nó cung cấp chi tiết tỉ mỉ nhất ở tỷ lệ nanomet tốt nhất, sử dụng một loạt rộng các điều kiện làm việc, bất kể hoạt động ở 30 keV để truy cập thông tin cấu trúc hoặc ở năng lượng thấp hơn để có được thông tin chi tiết từ bề mặt không điện tích. Với hệ thống phát hiện độc đáo được đặt bên trong cột và chế độ ngâm, hệ thống được thiết kế để thu thập đồng thời tín hiệu cho hình ảnh SE và BSE có điều chỉnh góc và lựa chọn năng lượng. Việc truy cập nhanh chóng đến thông tin tỉ mỉ nhất ở tỷ lệ nanomet không chỉ được đảm bảo từ trên xuống, mà còn trên các mẫu bị nghiêng hoặc cắt ngang. Các bộ phận phát hiện dưới ống kính bổ sung và chế độ giảm tốc tia electron đảm bảo việc thu thập đồng thời tất cả các tín hiệu một cách nhanh chóng và dễ dàng để khám phá các đặc điểm nhỏ nhất trên bề mặt vật liệu hoặc cắt ngang. Kết quả nhanh chóng, chính xác và có thể tái sản xuất được đạt được nhờ vào thiết kế cột độc đáo của Elstar Columns, bao gồm các điều chỉnh lấy nét tự động tiên tiến, ống kính công suất cố định để có được tính ổn định nhiệt độ cao hơn, và quét điện tĩnh để có độ tuyến tính và tốc độ quét cao hơn.

Quang học electron

·   Cột SEM Elstar với độ phân giải cực cao sử dụng nguồn phát hiện từ trường với:

-    Ống kính khả năng đưa vào chất lỏng từ tính

-    Súng phát hiện từ Schottky cao ổn định để cung cấp dòng phân tích ổn định với độ phân giải cao

-    Công nghệ monochromator UC+

·   SmartAlign: Công nghệ không cần căn chỉnh của người dung

·    Ống kính kép 60 độ với bảo vệ cực từ cho phép nghiêng các mẫu lớn hơn

·   Hệ thống lỗ điều chỉnh nhiệt tự động để đảm bảo sạch sẽ và trao đổi lỗ điều chỉnh không tiếp xúc

·   Quét điện tĩnh cho độ tuyến tính và tốc độ quét cao hơn • Công nghệ ống kính ConstantPower™ của Thermo Scientific để đạt được độ ổn định nhiệt cao hơn • Bộ tắt tia nhanh tích hợp*

·   Giảm tia bằng điều khiển cấp điện sân từ của sân từ từ 0 V đến -4 kV*

·   Tuổi thọ nguồn tối thiểu: 12 tháng

 Độ phân giải của tia electron

·   Ở khoảng cách tối ưu:

-    0.7 nm ở 1 kV

-    1.0 nm ở 500 V (ICD) • Ở điểm trùng hợp:

-    0.6 nm ở 15 kV

-    1.2 nm ở 1 kV

·   Không gian tham số của tia electron •

·   Khoảng dòng tia electron:

-    từ 0.8 pA đến 100 nA

-     Dải điện áp gia tốc: từ 350 V đến 30 kV

-    Dải năng lượng hạ cánh: từ 20* eV đến 30 keV

-    Độ rộng trường ngang tối đa: 2.3 mm ở khoảng cách là 4 mm

 Quang học ion

 Cột PFIB hiệu suất cao với Plasma Xe+ Nhiệt độ cao (ICP)

·   Dải dòng ion: từ 1.5 pA đến 2.5 µA

·   Dải điện áp gia tốc: từ 500 V đến 30 kV

·   Độ rộng trường ngang tối đa: 0.9mm ở điểm trùng hợp của tia

·   Độ phân giải của tia ion ở điểm trùng hợp

·   <20 nm ở 30 kV sử dụng phương pháp thống kê ưa thích

·   <10 nm ở 30 kV sử dụng phương pháp lựa chọn cạnh

·   Đầu dò

·   Đầu dò Elstar SE/BSE trong ống kính (TLD-SE, TLD-BSE)

·   Đầu dò Elstar SE/BSE trong cột (ICD)*

·   Đầu dò SE Everhart-Thornley (ETD) Camera hồng ngoại để xem mẫu/ cột

·   Đầu dò electron và ion trong buồng hiệu suất cao (ICE) cho ion phụ (SI) và electron (SE)

·   Camera dẫn hướng mẫu Nav-Cam™ của Thermo Scientific trong buồng*

·    Đầu dò electron phản xạ ngược hướng, hướng tia nhiệt độ thấp, độ tương phản cao, có thể thu hồi được (DBS)*

·   Đo lường dòng tia tích hợp

 

Vị trí và mẫu

Bàn di chuyển 5 trục linh hoạt:

 

·    Dải XY: 110 mm • Dải Z: 65 mm 

·   Xoay: 360° (không giới hạn)

·   Dải nghiêng: -38° đến +90°

·   Độ lặp lại XY: 3 μm

·   Chiều cao mẫu tối đa: Lưu trữ 85 mm đến điểm Eucentric

·   Trọng lượng mẫu tối đa ở góc nghiêng 0°: 5 kg (bao gồm giá đỡ mẫu)

·   Kích thước mẫu tối đa: 110 mm với vòng quay đầy đủ (có thể có mẫu lớn hơn với vòng quay giới hạn)

Xoay và nghiêng tâm tự động

 

Hệ thống chân không

·   Hệ thống chân không không dầu hoàn chỉnh

·   Chân không trong buồng: <2.6×10-6 mbar (sau 24 giờ bơm)

·   Thời gian hút chân không: <5 phút

 

Buồng

·   Điểm trùng hợp E- và I-beam ở khoảng cách WD phân tích (4 mm SEM)

·    Cổng: 21

·   Độ rộng bên trong: 379 mm

·   Máy làm sạch plasma tích hợp

 

 Giữ mẫu

·   Giá đỡ đa mục đích tiêu chuẩn, lắp trực tiếp lên bàn di chuyển, chứa đến 18 miếng tiêu chuẩn (Đường kính 12 mm), ba miếng tiêu chuẩn được nghiêng trước, mẫu cắt ngang và hai giữ đầu hàng nghiêng trước (38° và 90°) và không cần công cụ để lắp mẫu

·   Mỗi giữ hàng tùy chọn chứa 6 lưới S/TEM

·   Giữ mẫu kẹp để kẹp mẫu không đều, lớn hoặc nặng lên bàn di chuyển mẫu*

·   Cơ sở lắp đặt thông dụng (UMB) cho việc lắp đặt ổn định, linh hoạt của nhiều kết hợp mẫu và giữ mẫu như tiêu chuẩn và giữ đầu, và giữ hàng cho lưới TEM*

·   Các giá đỡ wafer và tùy chọn tùy chỉnh(s) có sẵn khi yêu cầu

 

Bộ xử lý hình ảnh

·   Thời gian đặt trú 25 ns – 25 ms/pixel

·   Lên đến 6144 × 4096 điểm ảnh

·    Loại tập tin: TIFF (8, 16, 24-bit), BMP hoặc JPEG tiêu chuẩn

·   SmartSCAN (256 khung trung bình hoặc tích hợp, tích hợp và trung bình đường, quét xen kẽ)

·   DCFI (Tích hợp khử điều chỉnh khung)

 

Điều khiển hệ thống

·   GUI 64 bit với Windows 10, bàn phím, chuột quang

·   Lên đến bốn hình ảnh trực tiếp hiển thị các tia và/hoặc tín hiệu độc lập. Pha trộn tín hiệu màu trực tiếp

·   Hỗ trợ ngôn ngữ địa phương: Kiểm tra với các đại diện bán hàng của Thermo Fisher địa phương để biết các gói ngôn ngữ có sẵn

·   Hai màn hình rộng 24 inch (1920×1200 điểm ảnh) cho giao diện GUI hệ thống và hình ảnh toàn màn hình

·   Máy hiển vi điều khiển và máy tính hỗ trợ mượt mà chia sẻ một bàn phím, chuột và màn hình

·   Điều khiển trò chơi điều khiển*

·   Bảng điều khiển đa chức năng* 

·   Điều khiển và hình ảnh từ xa*

 

Phần mềm hỗ trợ

·   Giao diện người dùng đồ họa "Tia mỗi lần xem", với tối đa 4 ô hoạt động đồng thời

·   Thermo Scientific SPI (điều khiển FIB đồng thời và hình ảnh SEM), iSPI™ (hình ảnh SEM và điều khiển FIB nửa vời), iRTM™ (màn hình thời gian thực tích hợp) và chế độ ngâm FIB cho việc theo dõi tiến trình SEM và FIB nâng cao thời gian thực

·   Các mẫu hỗ trợ: đường, hình chữ nhật, đa giác, hình tròn, donut, cắt ngang và làm sạch cắt ngang

·   Tập tin BMP hoặc luồng tập tin được nhập trực tiếp cho quá trình gia công và chất phun

·   Hỗ trợ tập tin vật liệu cho "thời gian lặp tối thiểu", điều chỉnh tia và chồng chéo độc lập

·   Đăng ký hình ảnh cho phép điều hướng mẫu trong hình ảnh được nhập

·    Điều hướng mẫu trên hình ảnh quang học

 Phụ kiện*

·   GIS (Hệ thống Tiêm Khí) - Các giải pháp:

-    GIS đơn: lên đến bốn đơn vị độc lập để tăng cường etsch hoặc lắp phủ

-    MultiChem: lên đến sáu hóa chất trên cùng một đơn vị cho điều khiển etsch và lắp phủ nâng cao • Tùy chọn hóa hóa khí

·   GIS - Các tùy chọn hóa chất tia

-    Lắp phủ platinum

-    Lắp phủ wolfram

-    Lắp phủ carbon

-    Lắp phủ cách điện II

-    Lắp phủ vàng

-    etsch Nâng cao (iodine, được cấp bằng sáng chế)

-    etsch cách điện nâng cao (XeF2)

-    Làm rõ etsch (được cấp bằng sáng chế)

-    Cải thiện Delayering

-    Khuôn đất trống cho vật liệu do người dùng cung cấp được Thermo Fisher chấp thuận

-    Các hóa chất tia khác có sẵn khi được yêu cầu

·   NanoManipulator Thermo Scientific EasyLift™ - tích hợp hoàn toàn để điều chỉnh mẫu tại chỗ một cách chính xác

·   Cân bằng điện FIB

·   Phân tích: EDS, EBSD, WDS

·   QuickLoader™: Loadlock cho việc trao đổi mẫu nhanh chóng mà không làm hỏng chân không hệ thống

·    Giải pháp lạnh cho DualBeam

-    CryoMAT độc quyền của Thermo Scientific cho ứng dụng cryo khoa học vật liệu

-    Các giải pháp từ các nhà cung cấp bên ngoài

·    Khu vực âm thanh của Thermo Scientific

·   Bộ làm sạch lạnh của Thermo Scientific Tùy chọn phần mềm* 

·   Phần mềm AutoTEM™ của Thermo Scientific cho quá trình chuẩn bị mẫu S/TEM tự động

·    Phần mềm AutoScript™ 4 của Thermo Scientific: bộ công cụ tự động hóa tiên tiến cho DualBeams

·   Phần mềm Maps™ của Thermo Scientific để tự động thu thập hình ảnh lớn và công việc tương quan tùy chọn

·   Phần mềm NanoBuilder™ của Thermo Scientific - các giải pháp CAD (GDSII) tiên tiến được tối ưu hóa cho việc tạo ra nanoprototypes phức tạp cho FIB và lắp phủ tia

·   Phần mềm Auto Slice và View - quá trình ăn mảnh và quan sát tự động để thu thập loạt hình ảnh lát, bản đồ EDS hoặc EBSD cho việc tái tạo 3D

·   Phần mềm Avizo - phần mềm tái tạo và phân tích 3D

·   Điều hướng CAD Bảo hành và đào tạo

·   Bảo hành 1 năm

·   Lựa chọn hợp đồng bảo dưỡng dịch vụ

·    Lựa chọn hợp đồng đào tạo vận hành/ứng dụng Tài liệu và hỗ trợ

·   Hướng dẫn sử dụng trực tuyến

·   Sổ tay vận hành người dùng

·   Sẵn sàng cho RAPID™ (hỗ trợ chẩn đoán từ xa)

 

* Tùy chọn

** Có một số hóa chất tia có thể chỉ có sẵn trên MultiChem hoặc trên Single GIS.

Top of Form