Nguồn ion

Sử dụng ba nguồn ion TrueFocus

Năng lượng hoạt động có thể thay đổi ( từ 100 eV đến 10,0 keV)

Mật độ của dòng chùm lên đến 10 mA/cm2

Phạm vi góc phay từ 0 đến +10˚

Có thể lựa chọn nguồn hoạt động của ion đơn, đôi hoặc ba

Điều chỉnh góc nguồn ion bằng động cơ

Điều khiển năng lượng của nguồn ion một cách độc lập

Kích thước tại điểm có thể điều chỉnh (300 µm đến 5 mm)

Cốc Faraday để đo trực tiếp dòng chùm từ mỗi nguồn ion; cho phép tối ưu hóa và điều chỉnh các thông số của nguồn ion cho các ứng dụng cụ thể

Có camera căn chỉnh chùm tia

Tốc độ phay vượt qua 500 µm/giờ

Bảo trì ở nguồn ion thấp

Cửa khóa nạp mẫu

Cửa khóa nạp mẫu ở phía trước cho khả năng xử lý mẫu nhanh

Van cổng chân không Pneumatic

Giá giữ mẫu hình lưỡi lê có chức năng nhả mẫu nhanh

Giao diện của người dùng

Hoạt động của thiết bị được điều khiển thông qua màn hình cảm ứng có thể điều chỉnh được thiết kế theo công thái học 254 mm [10 in.]

Tự động kết thúc

Kết thúc tự động theo cài đặt thời gian hoặc nhiệt độ

Giai đoạn của mẫu

Cung cấp cả khả năng phay trên mặt phẳng và mặt cắt ngang

Mặt phẳng

Đường kính lên đến 50 mm x chiều cao 25 ​​mm [1,968 x 0,787 in.]

Mặt cắt ngang

Tối đa: 10 x 10 x 4 mm [0,39 x 0,39 x 0,157 in.]

Tự động thiết lập phát hiện chiều cao của mặt phẳng phay, đảm bảo kết quả có thể lặp lại

Chuyển động xoay mẫu 360° hoặc nghiêng với tốc độ thay đổi được

Làm mát mẫu (tùy chọn)

Được làm mát bằng nito lỏng với bình trữ nito tích hợp

Bình trữ nito được đặt gần người vận hành thiết bị

Cung cấp khả năng bảo vệ mẫu ở nhiệt độ cực thấp, tự động dừng các hoạt động phay nếu nhiệt độ của bệ mẫu tăng lên trên ngưỡng nhiệt độ do người dùng cài đặt

Trạm giữ mẫu có mặt cắt ngang

Tạo ra các mẫu có mặt cắt ngang nguyên vẹn nhấnhất

Các mẫu được cố định vào mask bằng chất kết dính

Cho phép định vị chính xác khu vực quan tâm – X, Y và θ

Có hiệu quả khi sử dụng với nhiều loại vật liệu khác nhau, bao gồm các thiết bị bán dẫn, nhiều lớp, gốm sứ và các vật liệu cứng/giòn

Khu vực quan tâm sẽ được làm phẳng và không bị hư hại để có thể chụp ảnh SEM và phân tích sau đó

Phù hợp với nhiều kích thước mẫu và mask

Mẫu và mask được căn chỉnh theo cả chiều ngang và các góc 

Sử dụng được cho nhiều mục đích từ một mask duy nhất

Trạm giữ mẫu có mặt cắt ngang sử dụng kẹp

Tạo ra các mẫu có mặt cắt ngang nguyên vẹn nhất

Lý tưởng cho các mẫu có thể bị hư hỏng do tiếp xúc với chất kết dính; mẫu được cố định thông qua mask kẹp, không cần chất kết dính

Cho phép định vị chính xác khu vực quan tâm – X, Y và θ

Có hiệu quả khi sử dụng với nhiều loại vật liệu khác nhau, bao gồm các thiết bị bán dẫn, nhiều lớp, gốm sứ và vật liệu cứng/giòn

Khu vực quan tâm sẽ được làm phẳng và không bị hư hại để chụp ảnh và phân tích SEM sau đó

Phù hợp với nhiều kích thước mẫu và mask

Mẫu và mask căn chỉnh theo cả chiều ngang và góc

Nhiều mục đích sử dụng từ một mask duy nhất

Thiết bị chuyển mẫu

Thiết bị chuyển mẫu tích hợp làm mát chủ động (Active Cooled Transfer - ACT) cho phép chuyển trực tiếp mẫu ở chế độ chân không, trong khí trơ hoặc ở nhiệt độ cực lạnh sang SEM hoặc FIB; thiết bị chuyển mẫu không tích hợp làm lạnh bằng phương pháp cryo cũng có sẵn

Hợp tác với Quorum Technologies Ltd

Xem mẫu

Có thể theo dõi mẫu ở vị trí phay khi sử dụng kính hiển vi có độ phóng đại cao

Tùy chọn kính hiển vi

Kính hiển vi có độ phóng đại 525X

Kính hiển vi có độ phóng đại 1.960X

Cửa sổ xem mẫu được bảo vệ bằng màn trập có thể lập trình giúp ngăn ngừa sự tích tụ của vật liệu bị bắn phá và duy trì khả năng quan sát mẫu tại chỗ

Thu thập hình ảnh của mẫu (tùy chọn)

Camera CMOS (complementary metal oxide semiconductor - chất bán dẫn oxit kim loại bổ sung) để thu thập và hiển thị hình ảnh

Có ích cho việc theo dõi quá trình loại bỏ lớp vật liệu trên mẫu

Hệ thống thu thập hình ảnh bao gồm

Camera CMOS

Màn hình phụ

Máy tính hình ảnh

Bàn phím

Chuột

Hình ảnh có thể được lưu vào máy tính hình ảnh hoặc chuyển sang máy tính khác

Đèn báo tín hiệu dạng cột

Cho phép xác định trạng thái hoạt động khi phay mẫu từ xa

Chiếu sáng cho mẫu

Cả hai kính hiển vi có độ phóng đại cao đều có nguồn sáng cung cấp khả năng chiếu sáng mẫu phản xạ từ trên xuống, có thể điều chỉnh bởi người dùng

Quy trình khí

Argon ≥ độ tinh khiết 99,999% (cực cao, Cấp 5.0)

Kiểm soát khí tự động bằng ba bộ điều khiển lưu lượng khối

Điều khiển khí

Nitơ ≥ độ tinh khiết 99,99% (cao, Cấp 4.0) hoặc không khí sạch, khô (CDA)

Hệ thống chân không

Bơm kéo Turbomolecular và bơm màng nhiều tầng không dầu

Cảm biến chân không bằng cực âm lạnh, đồng hồ đo toàn dải

Vỏ

Chiều rộng: 75,46 cm [29,71 in.]

Chiều cao

Màn hình cảm ứng: 66,13 cm [26,04 in.]

Kính hiển vi phóng đại cao: 85,27 cm [33,57 in.]

Chiều sâu: 85,91 cm [33,82 in.]

Thiết kế vỏ giúp dễ dàng tiếp cận các thành phần máy móc bên trong khi bảo trì

Trọng lượng

99.8 kg [220 lb.]

Công suất

100/120 or 220/240 VAC; 50/60 Hz; 1000 W

Bảo hành

Một năm