Nguồn ion

Sử dụng hai nguồn ion TrueFocus

Hoạt động với năng lượng thay đổi (100 eV đến 10 kV)

Mật độ dòng chùm lên đến 10 mA/cm2

Phạm vi góc phay từ −15 đến +10˚

Lựa chọn nguồn ion hoạt động đơn hoặc kép

Kiểm soát năng lượng của nguồn ion độc lập

Điều chỉnh góc nguồn ion thủ công hoặc cơ học (tùy chọn)

Có thể điều chỉnh kích thước điểm

Cốc Faraday để đo trực tiếp dòng chùm từ mỗi nguồn ion; cho phép tối ưu hóa và điều chỉnh các thông số của nguồn ion cho các ứng dụng cụ thể

Giá đỡ mẫu

Được thiết kế để cải thiện khả năng xử lý mẫu và các đặc tính nhiệt; bao gồm trạm nạp mẫu

Cơ chế kẹp giữ mẫu cho phép nạp mẫu đơn giản vào máy và phay hai mặt của mẫu đến góc 0° mà mẫu không bị che khuất

Giá giữ mẫu và trạm nạp mẫu có khả năng điều chỉnh x-y (tùy chọn)

Giai đoạn của mẫu

Kích thước mẫu: đường kính 3 mm x dày 250 µm

Xoay mẫu 360˚ với tốc độ quay thay đổi và sắp xếp chùm tia

Đảo mẫu

Bộ mã hóa từ cung cấp độ định vị vị trí mẫu chính xác tuyệt đối

Làm mát mẫu (tùy chọn)

Hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng với bình trữ nito tích hợp và khóa điều khiển nhiệt độ tự động

Bình trữ nito được đặt gần người vận hành thiết bị

Khả năng lập trình và duy trì nhiệt độ cụ thể giữa nhiệt độ môi trường và nhiệt độ cực thấp

Lựa chọn

Công suất bình trữ nito tiêu chuẩn (3 đến 5 giờ ở điều kiện đông lạnh)

Công suất bình trữ nito mở rộng (12+ giờ ở điều kiện đông lạnh)

Tự động kết thúc

Kết thúc tự động theo cài  đặt thời gian, nhiệt độ hoặc máy dò quang laser (tùy chọn)

Hệ thống chân không

Bơm kéo Turbomolecular và, bơm màng nhiều tầng không dầu

Cảm biến chân không với catốt lạnh, đồng hồ đo toàn dải

Buồng chuyển mẫu trong môi trường chân không hoặc khí trơ

Cho phép chuyển hoặc lưu trữ mẫu ở chế độ chân không hoặc trong môi trường khí trơ

Xử lý khí

Argon UHP (99,999%); áp suất cung cấp được yêu cầu là 15 psi

Kiểm soát khí tự động bằng hai bộ điều khiển lưu lượng khối

Giao diện của người dùng

Hoạt động của thiết bị được điều khiển thông qua màn hình cảm ứng có thể điều chỉnh 10 inch

Đèn báo xếp chồng để xác định trạng thái hoạt động khi phay mẫu từ xa (tùy chọn)

Kính hiển vi (tùy chọn)

Cửa khóa nạp mẫu có thể chứa:

Kính hiển vi nổi 7 đến 45 X để quan sát mẫu trực tiếp

Kính hiển vi phóng đại cao 1.960 X và hệ thống camera CMOS (chất bán dẫn oxit kim loại bổ sung) để thu thập và hiển thị hình ảnh tại chỗ

Xem/chụp ảnh tại chỗ

Có thể theo dõi mẫu tại chỗ ở vị trí phay khi sử dụng kính hiển vi lập thể hoặc kính hiển vi có độ phóng đại cao

Cửa sổ xem mẫu được bảo vệ bằng màn trập có thể lập trình giúp ngăn ngừa sự tích tụ của vật liệu bị bắn phá và duy trì khả năng quan sát mẫu tại chỗ

Chiếu sáng mẫu

Một đèn được đặt bên dưới mẫu cung cấp ánh sáng truyền qua mẫu có thể điều chỉnh được của người dùng

Cả kính hiển vi phóng đại cao và kính hiển vi lập thể đều có nguồn sáng cung cấp phản xạ mẫu từ trên xuống, người dùng có thể điều chỉnh được vùng chiếu sáng

Vỏ

Chiều rộng (bao gồm cả không gian ở cả hai bên để tiếp cận dịch vụ: 50 in. (127 cm)

Chiều cao

Chiều cao tối thiểu (không có tùy chọn kính hiển vi hoặc đèn xếp chồng): 32 in. (61 cm)

Chiều cao tối đa (có tùy chọn đèn xếp chồng): 38 in. (77 cm)

Trọng lượng

161 lb. (73 kg)

Công suất

100/120/220/240 VAC, 50/60 Hz, 720 W

Bảo hành

Một năm