Mã số sản phẩm

041-5500

Tên sản phẩm

Trạm mẫu có mặt cắt ngang (keo)

Mô tả

Tạo ra các mẫu có mặt cắt ngang nguyên vẹn cho Máy phay mẫu SEM Model 1061; mask được dán vào mẫu bằng keo dán.

Mã số sản phẩm

041-6338

Tên sản phẩm

Trạm mẫu có mặt cắt ngang (kẹp)

Mô tả

Tạo ra các mẫu có mặt cắt ngang nguyên vẹn cho Máy phay mẫu SEM Model 1061; lớp mask được gắn vào mẫu bằng cơ chế kẹp.

Mã số sản phẩm

041-5880

Tên sản phẩm

Buồng chuyển mẫu trong môi trường chân không/khí trơ

Mô tả

Chuyển mẫu đến và đi từ Máy phay mẫu SEM Model 1061 trong môi trường khí trơ (argon) hoặc chân không.

Nguồn ion

Sử dụng hai nguồn ion Truefocus

Hoạt động với năng lượng có thể thay đổi (100 eV đến 10,0 keV)

Mật độ dòng của chùm tia lên đến 10 mA/cm2

Phạm vi góc phay từ 0 đến +10°

Có thể lựa chọn sử dụng nguồn ion đơn hoặc kép

Điều chỉnh góc cho nguồn ion bằng tay hoặc động cơ (tùy chọn)

Kiểm soát năng lượng của nguồn ion một cách độc lập

Kích thước của điểm có thể điều chỉnh

Cốc Faraday để đo trực tiếp dòng chùm từ mỗi nguồn ion; cho phép tối ưu hóa và điều chỉnh các thông số của nguồn ion cho các ứng dụng cụ thể

Giai đoạn mẫu

Kích thước mẫu

Mặt cắt ngang

Tối đa: 10 x 10 x 4,0 mm [0,39 x 0,39 x 0,157 in.]

Tối thiểu: 3 x 3 x 0,7 mm [0,12 x 0,12 x 0,028 in.]

Mặt phẳng

Đường kính 32 mm x chiều cao 25 ​​mm [1,25 x 1 in.]

Cảm biến độ dày mẫu được tự động hóa để thiết lập cho mặt phẳng phay và tối đa hóa thông lượng

Xoay mẫu 360° với tốc độ quay thay đổi

Đảo mẫu

Bộ mã hóa từ cung cấp độ chính xác tuyệt đối khi định vị mẫu 

Giao diện của người dùng

Hoạt động của thiết bị được điều khiển thông qua màn hình cảm ứng có thể điều chỉnh được thiết kế theo công thái học 254 mm [10 in.]

Hệ thống chân không

Máy bơm kéo Turbomolecular và máy bơm màng nhiều cấp không dầu

Cảm biến chân không với cực âm lạnh, đồng hồ đo toàn dải

Quy trình khí

UHP argon (99,999%); áp suất cung cấp 15 psi tiêu chuẩn theo yêu cầu

Kiểm soát khí tự động bằng hai bộ điều khiển lưu lượng khối

Tự động kết thúc

Tự động kết thúc theo thời gian hoặc nhiệt độ

Xem mẫu và chụp ảnh tại chỗ

Mẫu có thể được theo dõi ở vị trí phay khi sử dụng kính hiển vi lập thể hoặc kính hiển vi có độ phóng đại cao

Cửa sổ xem mẫu được bảo vệ bằng màn trập có thể lập trình giúp ngăn ngừa sự tích tụ của vật liệu bị bắn phá và duy trì khả năng quan sát mẫu tại chỗ

Làm mát mẫu (tùy chọn)

Được làm mát bằng nito lỏng với bình trữ nito tích hợp và hệ thống ngắt nhiệt tự động

Bình trữ nito được đặt gần người vận hành thiết bị

Khả năng lập trình và duy trì nhiệt độ cụ thể giữa nhiệt độ môi trường và nhiệt độ cực thấp

Lựa chọn

Công suất của bình trữ nito tiêu chuẩn (3 đến 5 giờ trong điều kiện đông lạnh)

Công suất của bình trữ nito mở rộng (12+ giờ trong điều kiện đông lạnh)

Buồng chuyển mẫu trong môi trường chân không hoặc khí trơ (tùy chọn)

Cho phép chuyển hoặc lưu trữ mẫu ở môi trường chân không hoặc trong môi trường khí trơ

Trạm mẫu có mặt cắt ngang (tùy chọn)

Tạo ra các mẫu có mặt cắt ngang nguyên vẹn

Các mẫu được gắn chặt vào mask bằng keo dính

Cho phép định vị chính xác khu vực quan tâm trên mẫu – X, Y và θ

Hiệu quả khi sử dụng với nhiều loại vật liệu khác nhau, bao gồm các thiết bị bán dẫn, nhiều lớp, gốm sứ và vật liệu cứng/giòn

Khu vực quan tâm trên mẫu được làm phẳng và không bị hư hại để chụp ảnh SEM và phân tích sau đó

Phù hợp với nhiều kích thước mẫu và mask

Mẫu và mask căn chỉnh theo cả chiều ngang và góc

Có nhiều cách sử dụng từ một mask

Trạm mẫu có mặt cắt ngang dùng kẹp (tùy chọn)

Tạo ra các mẫu có mặt cắt ngang nguyên vẹn

Lý tưởng cho các mẫu có thể bị hư hỏng do tiếp xúc với chất kết dính; mẫu được cố định thông qua mask có kẹp, không cần keo dán

Cho phép định vị chính xác khu vực quan tâm – X, Y và θ

Hiệu quả khi sử dụng với nhiều loại vật liệu khác nhau, bao gồm các thiết bị bán dẫn, nhiều lớp, gốm sứ và vật liệu cứng/giòn

Khu vực quan tâm trên mẫu sẽ được làm phẳng và không bị hư hại để chụp ảnh và phân tích SEM sau đó

Phù hợp với nhiều kích thước mẫu và mask

Mẫu và mask căn chỉnh theo cả chiều ngang và góc

Có nhiều cách sử dụng từ một mask

Đèn tín hiệu dạng cột (tùy chọn)

Đèn tín hiệu dạng cột để xác định trạng thái hoạt động phay từ xa

Kính hiển vi (tùy chọn)

Cửa khóa nạp mẫu phù hợp với các kính hiển vi sau:

Kính hiển vi lập thể có độ phóng đại từ 7 đến 45X để quan sát mẫu trực tiếp

Kính hiển vi phóng đại cao 525X và hệ thống camera CMOS (bổ sung oxit kim loại bán dẫn) để thu thập và hiển thị hình ảnh tại chỗ

Kính hiển vi phóng đại cao 1.960X và hệ thống camera CMOS để thu thập và hiển thị hình ảnh tại chỗ

Chiếu sáng mẫu

Cả kính hiển vi phóng đại cao và kính hiển vi lập thể đều có nguồn sáng cung cấp ánh sáng phản chiếu vào mẫu từ trên xuống, có thể điều chỉnh bởi người dùng

Vỏ 

Chiều rộng (bao gồm không gian ở cả hai bên để truy cập vào thiết bị: 127 cm [50 in.]

Chiều cao

Chiều cao tối thiểu (không có tùy chọn kính hiển vi hoặc đèn tín hiệu dạng cột): 61 cm [32 in.]

Chiều cao tối đa (có tùy chọn đèn tín hiệu dạng cột): 77 cm [38 in.]

Chiều sâu (bao gồm không gian để tuy cập vào thiết bị và luồng khí quạt hút): 102 cm [40 in.]

Thiết kế vỏ giúp dễ dàng tiếp cận các thành phần máy bên trong khi thực hiện các nhiệm vụ bảo trì

Trọng lượng

73 kg [161 lb.]

Công suất

100/120/220/240 VAC, 50/60 Hz, 720 W

Bảo hành

Một năm