CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ KHOA HỌC KỸ THUẬT AN DƯƠNG
info@adgroup.vn
Giá bán: Đang cập nhật
Liên hệ ngay Kết hợp một nguồn ion khí trơ với năng lượng cực thấp và một cột điện tử quét với nhiều đầu dò để tạo ra các mẫu TEM tối ưu.I. Tính năng chính
Phay bằng chùm ion hội tụ (Focused ion beam - FIB) là một kỹ thuật được sử dụng rộng rãi cho các vật liệu tiên tiến hiện nay, cung cấp phương tiện để chuẩn bị mẫu cho kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM). Thách thức khi làm việc với các vật liệu tiên tiến này là tạo ra các mẫu đủ mỏng để electron có thể xuyên qua mà không có hiện tượng nhiễu.
FIB rất hiệu quả trong việc chuẩn bị mẫu TEM, nhưng việc sử dụng nguồn ion từ kim loại lỏng có năng lượng cao thường có thể dẫn đến việc mẫu bị vô định hình, cấy thêm Ga hoặc cả hai.
Hệ thống PicoMill là sự bổ sung lý tưởng cho công nghệ FIB; nó bổ sung khả năng vượt trội trong việc sản xuất mẫu có chất lượng tối ưu đồng thời nâng cao hiệu suất tổng thể của quá trình chuẩn bị mẫu bằng cách chuyển quá trình làm mỏng mẫu cuối cùng ra bên ngoài quy trình chính.
II. Thông số kỹ thuật
|
Ứng dụng |
Sơ cấp: chuẩn bị mẫu vật bằng
kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) cho mẫu vi điện tử và bán dẫn Thứ cấp: Bất kỳ mẫu vật nào
khác yêu cầu kết quả tối ưu Lý tưởng khi kết hợp với máy
chuẩn bị mẫu FIB với TEM đã hiệu chỉnh quang sai |
|
Nguồn ion |
Nguồn ion dạng sợi kết hợp với
hệ thống thấu kính tĩnh điện Điện áp thay đổi (50 eV đến
2 kV), có thể điều chỉnh liên tục Mật độ của dòng chùm lên đến
8 mA/cm2 Kích thước chùm < 1 µm |
|
Nguồn electron |
Điện áp gia tốc lên đến 10
keV Khoảng cách làm việc 16 mm Cốc Faraday để theo dõi dòng
điện chùm electron với phạm vi từ 1 đến 2.000 pA |
|
Goniometer |
Kiểu TEM Chuyển động trục X, Y và Z
và độ nghiêng α Thời gian đổi mẫu < 30
giây Phạm vi góc phay từ -15 đến
+90° Phạm vi xem mẫu từ -15 đến
180° |
|
Giá đỡ |
Lối vào từ bên cạnh, giá đỡ
kiểu TEM Tương thích với tất cả các
TEM chính |
|
Nhắm mục tiêu chùm ion |
Chùm tia ion có thể nhắm đến
một điểm cụ thể trên bề mặt mẫu hoặc quét trong một khu vực đã chọn |
|
Giao diện người dùng |
Điều khiển bằng menu với trạng
thái hệ thống được hiển thị |
|
Khí |
Khí nguồn ion: UHP 99.999%
argon Điều khiển khí: Tự động hóa
bằng công nghệ điều khiển lưu lượng khối Khí điều khiển: Nitơ, argon
hoặc không khí khô sạch (CDA) ở mức 2 đến 7 bar |
|
Hình ảnh |
Máy dò electron thứ cấp/Máy dò Everhart-Thornley Chụp ảnh điện tử với trường nhìn 2 mm Chụp ảnh điện tử thứ cấp kích thích bởi ion với trường
nhìn 1,9 mm Hình ảnh mẫu được hiển thị trên giao diện người dùng
của hệ thống PicoMill Máy dò electron tán xạ ngược ở trạng thái rắn Máy dò electron truyền/quét ở trạng thái rắn (STEM) |
|
Hệ thống chân không |
Bơm kéo turbomolecular được
hỗ trợ bởi bơm cơ học không dầu Áp suất của buồng mẫu Mức chân không thấp nhất là
3 x 10-6 mbar Mức chân không khi máy hoạt
động là 1 x 10-4 mbar Cột điện tử: Mức chân không
thấp nhất 1 x 10-6 mbar Goniometer: từ khí quyển
đến 1 mbar (trước khi bơm) Đồng hồ đo chân không Cực âm lạnh cho buồng mẫu và
cột điện tử Đồng hồ đo Pirani cho máy
goniometer |
|
Kết thúc tự động |
Kết thúc theo thời gian hoặc
theo quy trình thủ công |
|
Kích thước |
Chiều rộng 205,51 cm [80,75 in.] x chiều cao 146,94
cm [57,85 in.] x chiều sâu 127,33 cm [50,13 in.] |
|
Trọng lượng |
227 kg [500 lbs.] |
|
Công suất |
208-240 V AC, 50/60 Hz,
1,100 W |
|
Bảo hành |
Một năm |
Để biết thêm thông tin chi tiết về Hệ thống chuẩn bị mẫu PicoMill® TEM Model 1080, xin vui lòng truy cập website: https://www.fischione.com/products/m1080
Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup.
