Nguồn Ion

Nguồn ion dùng sợi đốt kết hợp với hệ thống thấu kính tĩnh điện

Điện áp thay đổi (50 eV đến 2 kV), có thể điều chỉnh liên tục

Mật độ chùm tia lên tới 1 mA/cm2  

Đường kính của chùm tia nhỏ nhất là 1 µm tại 2000 eV

Cốc faraday để theo dõi dòng tia ion với phạm vi từ 1 đến 2000 pA

Có thể tự thay thế khẩu độ tại chỗ

Kiểm soát vị trí mẫu

Cửa khóa nạp mẫu cho phép đổi mẫu nhanh dưới 10 giây

Thanh chuyển để đổi mẫu vật

Góc phay từ -10º đến +30º

Bàn mẫu có thể xoay ở cả chiều kim đồng hồ và ngược chiều kim đồng hồ; góc xoay tối đa là 180º

Bàn xoay cho phép căn chỉnh ngang mẫu, giúp cải thiện vị trí của hộp phay

Hệ thống chân không

Bơm kéo Turbomolecular được hỗ trợ bởi bơm màng không dầu

Đo áp suất buồng được kết hợp giữa ống đo cathode lạnh và ống đo Pirani với phạm vi từ áp suất khí quyển đến 1 x 10-8 mbar

Độ chân không duy trì cơ sở của hệ thống là 3 x 10-7 mbar

Độ chân không khi máy hoạt động là 1x 10-4 mbar

Khí

Tự động hóa thông qua công nghệ kiểm soát lưu lượng khối

Tốc độ dòng chảy lên tới 2 sccm

Bộ lọc hạt thích hợp

Sử dụng khí trơ (argon) với độ tinh khiết khuyến nghị là 99.999%

Nhắm tới mẫu mục tiêu

Chùm tia ion có khả năng nhắm vào một điểm trên bề mặt mẫu hoặc quét trong một vùng được chọn

Giao diện người dùng

Thân thiện với người dùng, điều khiển bằng Menu

Chiếu sáng buồng

Hệ thống chiếu sáng buồng được điều khiển bởi người dùng để hỗ trợ việc thay mẫu

Làm mát mẫu

Làm mát mẫu bằng nito lỏng với các khóa nhiệt tự động

Nhiệt độ bàn mẫu có thể giảm tới -170 oC

Thời gian làm mát hệ thống dưới 20 phút

Thời gian làm mát mẫu dưới 5 phút

Bình trữ nito có thể duy trì trong 6 giờ

Tự động kết thúc

Kết thúc quá trình theo thời gian hoặc nhiệt độ đã cài đặt

Hình ảnh

Công nghệ hình ảnh dựa trên SED

Vùng nhìn rộng 1.8 mm

Bộ dò Everhart-Thornley

Hình ảnh mẫu được hiển thị trên giao diện đồ họa

Kích thước

Rộng 991 mm [39 in.] x cao 1,471 mm [58 in.] x sâu 788 mm [31 in.]

Trọng lượng

230.5 kg [507 lb.]

Công suất

110/220 VAC, 50/60 Hz, 1000 W

Bảo hành

Một năm