I. Tính năng chính

Chụp cắt lớp một trục thường dẫn đến mất một khoảng trống do các góc khuất và chụp cắt lớp hai trục sẽ mất một vùng thông tin hình kim tự tháp. Chụp cắt lớp xoay trên trục sẽ cho kết quả mà không mất bất kỳ vùng thông tin hình ảnh nào, do đó cung cấp đầy đủ thông tin có thể đạt được từ mẫu vật.

Giá đỡ chụp cắt lớp xoay trên trục có hộp trữ mẫu hình trụ nơi mà trụ mẫu được lắp vào. Trụ mẫu có đường kính 1,8 mm để gắn giá giữ mẫu bằng kính hiển vi ion có trường đầu dò nguyên tử chung (atom probe field ion microscope - APFIM) hoặc trụ mẫu có đường kính 1 mm để gắn mẫu đã chuẩn bị bằng chùm ion hội tụ (Focused ion beam - FIB).

Kỹ thuật nhấc FIB ra được sử dụng để vận chuyển và gắn các mẫu dày vào đầu trụ mẫu. Sau đó, mẫu vật được mài bằng FIB thành hình thanh hoặc hình nón và đủ mỏng để các chùm electron có thể xuyên qua. Trụ mẫu được kẹp vào hộp đựng mẫu. Hộp đựng mẫu vừa khít với thân giá đỡ và được căn chỉnh chính xác với mặt phẳng tại tâm của kính hiển vi. Hộp đựng được gắn chặt vào một cơ chế có thể vừa di chuyển dọc theo vừa xoay quanh trục của giá giữ.

Một trạm nạp chuyên dụng giúp hỗ trợ định vị hộp chứa mẫu vào giá giữ. Sau khi giá giữ mẫu chụp cắt lớp xoay theo trục được tháo khỏi trạm nạp, hộp chứa mẫu được khóa cơ học vào giá đỡ.

Ban đầu, mẫu có thể được xoay hoàn toàn 360° để chọn hướng mẫu thích hợp. Sau đó, một điểm dừng sẽ được kích hoạt, giúp cố định mẫu khi quay liên tục với giá đỡ. Một cơ chế định vị chính xác ba vị trí cung cấp khả năng xoay mẫu theo từng góc 120°. Ở mỗi gia số, trong khi vẫn giữ cố định vị trí mẫu vào giá đỡ, goniometer của kính hiển vi sẽ được nghiêng ±60° để thu được chuỗi nghiêng cắt lớp. Xoay mẫu thêm 120° hai lần nữa, kết hợp với độ nghiêng ±60° của goniometer, sẽ tạo ra dữ liệu tương ứng với 360° xoay mẫu. Quy trình này tối đa hóa lượng dữ liệu cắt lớp thu được từ một mẫu duy nhất.

Bao gồm trong giá giữ là một giá đỡ nạp mẫu cho giá giữ, một hộp đựng mẫu trong môi trường chân không Model 9010 , một trạm nạp mẫu cho hộp chứa, hộp chứa 1,8 mm và 1 mm, trụ mẫu 1 mm (gói 10 chiếc), cụm đầu FIB và hai loại nhíp (Dumont #3 và Dumont 2E1/8).

• Lý tưởng cho các mẫu được chuẩn bị bằng công cụ chùm ion hội tụ (FIB)
• Lý tưởng cho các mẫu chụp cắt lớp thăm dò nguyên tử (atom probe tomography - APT) và kính hiển vi ion trường (field ion microscopy - FIM)
• Bộ định vị ba vị trí cho phép xoay mẫu chính xác quanh trục
• Tương thích với tất cả các cấu trúc có hình dạng khe hở cực hẹp
• Tương thích với báo động cảm ứng của kính hiển vi, giúp dừng chuyển động của goniometer trong trường hợp xảy ra va chạm cực từ

Có sẵn cho cả kính hiển vi JEOL và Thermo Fisher Scientific.

II. Thông số kỹ thuật