CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ KHOA HỌC KỸ THUẬT AN DƯƠNG
info@adgroup.vn
Giá bán: Đang cập nhật
Liên hệ ngayMột giải pháp được tích hợp hoàn chỉnh cho việc loại bỏ lớp vật liệu ở quy mô milimet với cả thiết bị bán dẫn logic và bộ nhớ. ChipMill tích hợp tín hiệu từ nhiều bộ phát hiện thông qua thuật toán điều khiển phản hồi sử dụng trí tuệ nhân tạo để điều chỉnh các thông số gia công theo thời gian thực. Kết quả là việc loại bỏ chính xác được các lớp thiết bị và tạo ra bề mặt phẳng mịn.
I. Tính năng chính
ChipMill Model 1064 là giải pháp được tích hợp đầy đủ cho quá trình loại bỏ lớp vật liệu với quy mô lớn - có diện tích phay lên đến 10 x 10 mm – của cả thiết bị bán dẫn logic và bộ nhớ. So với tất cả các phương pháp khác, ChipMill tạo ra bề mặt phẳng nhất trên diện tích lớn nhất. Trí tuệ nhân tạo được tích hợp của ChipMill giúp tự động điều chỉnh các thông số khi phay để đạt được độ phẳng nanomet trong khu vực đã chuẩn bị.
ChipMill giúp giảm thời gian và các chi phí liên quan đến nghiên cứu và phát triển, sản xuất, đảm bảo chất lượng và phân tích lỗi bằng cách mang lại kết quả vượt trội. Khi nhu cầu về các thiết bị bán dẫn đang ngày càng tăng lên, kích thước của các thiết bị giảm xuống và cấu trúc trở nên phức tạp hơn, khả năng thực hiện kiểm soát quá trình loại bỏ lớp vật liệu trong tất cả các giai đoạn của vòng đời sản phẩm là điều cần thiết.
Mẫu phẳng tới nanomet của khu vực đã chuẩn bị
Vùng phay lên đến 10 x 10 mm
Phát hiện chiều cao mẫu tự động
Giao diện để thiết lập các thông số phay và hiển thị hình ảnh và dữ liệu phân tích rất thân thiện với người dùng
Màn hình cảm ứng trên thiết bị để quản lý việc đưa mẫu vào và lấy mẫu ra
Xác định điểm kết thúc theo thời gian, cấu trúc chip hoặc sự thay đổi trong thành phần hóa học
Thành phần:
II. Thông số kỹ thuật
|
Nguồn ion |
Loại: Tác động electron bằng sợi đốt Năng lượng chùm tia: 100 eV đến 10 keV; có thể điều
chỉnh liên tục theo gia số 5 eV Đường kính của chùm tia: 0,5 đến 2 mm; có thể điều
chỉnh, tùy thuộc vào mức năng lượng Dòng điện tối đa: 10 μA Mật độ dòng điện: 5 mA/cm2 (10 A trong chùm tia 0,5
mm) Khoảng cách làm việc: 25 đến 100 mm Phạm vi raster: 10 mm Điều khiển chùm tia: Độ lệch tĩnh điện X-Y Tuổi thọ của sợi đốt: 200 giờ Khả năng bảo trì cho sợi đốt: Dễ dàng được thay thế Làm mát bằng: Không khí |
|
Cửa khóa nạp mẫu |
Thời gian bơm xuống: < 60 giây Thời gian thông hơi: < 20 giây |
|
Độ đồng đều của bề mặt khi phay |
Đối với vùng phay có đường kính 10 mm: độ phẳng bề mặt sẽ tốt hơn 50 nm |
|
Giao diện của người dùng |
Giao diện để thiết lập các thông số phay và hiển thị hình ảnh và dữ liệu
phân tích rất thân thiện với người dùng Màn hình cảm ứng nằm gần cửa khóa nạp mẫu giúp đổi mẫu dễ dàng Đèn báo tín hiệu dạng cột cho phép xác định trạng thái hoạt động khi phay
từ xa Hoạt động từ xa |
|
Chế độ tự động kết thúc |
Có thể kết thúc quá trình phay theo cài đặt thời gian, cấu trúc chip hoặc
thành phần hóa học |
|
Giai đoạn của mẫu |
Mặt phẳng phay: Thiết lập bằng cách phát hiện chiều cao tự động Phạm vi góc phay: 0 đến 10° Xoay: 360° liên tục Nghiêng: 0 đến 179°; có thể điều chỉnh theo gia số 1° Kích thước mẫu: 15 x 15 mm, độ dày 3 mm trở xuống Diện tích phay: có đường kính 10 mm |
|
Thu thập hình ảnh của mẫu |
Camera Trường nhìn: 1 cm Cột chùm tia điện tử Phạm vi điện áp gia
tốc: 0,5 đến 10 kV Độ phân giải: 100 nm Khoảng cách làm việc:
16 mm |
|
Đầu dò |
Đầu dò điện tử thứ cấp (Secondary electron detector
- SED) Đầu dò điện tử tán xạ ngược (Backscatter electron -
BSE) Đầu dò quang phổ tia X phân tán năng lượng (Energy
dispersive X-ray spectroscopy - EDS) Đầu dò quang phổ phổ khối lượng ion thứ cấp
(Secondary Ion Mass Spectrometry - SIMS) |
|
Quy trình khí |
Loại: Argon Độ tinh khiết: ≥ 99,995% Tốc độ dòng chảy: Có thể điều chỉnh ~0,1 sccm Áp suất tiêu chuẩn: 15 đến 30 psi |
|
Khí điều khiển |
Loại: Argon, N2 khô hoặc không khí khô sạch Áp suất tiêu chuẩn: 55 psi, ±5 psi |
|
Hệ thống chân không |
Bơm hai cấp: Bơm màng không dầu và bơm phân tử tuabin Máy dò chân không: Pirani và đồng hồ đo toàn dải catốt lạnh |
|
Vỏ |
Chiều rộng: 112 cm [44,1 in.] Chiều cao: 180,6 cm [71,1 in.] Chiều sâu: 52,4 cm [20,6 in.] Trọng lượng: 287 kg [632 lb.] |
|
Công suất |
220/240 V, 50/60 Hz, 1500 W |
|
Bảo hành |
Một năm |
Để biết thêm thông tin chi tiết về ChipMill Model 1064, xin vui lòng truy cập website: https://www.fischione.com/products/m1064
Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup.
