Ứng dụng

• Kiểm soát quy trình bằng kính hiển vi điện tử

• Kiểm tra chất lượng và phân tích sự cố

• Nghiên cứu cơ bản về vật liệu

Ưu điểm chính

Đặc tính nguyên tử tốt nhất.

Hiệu suất quang học điện tử tối ưu và phát hiện cực nhạy cho phép kết hợp tốt nhất giữa hình ảnh và phân tích nguyên tử trong 2D và 3D.

Khả năng lưu trữ thiết lặp thí nghiệm lặp lại

Các quy trình tự động hóa phần mềm tinh vi như OptiSTEM+ và OptiMono+ tối ưu hóa hệ thống đến hiệu suất cao nhất, dẫn đến dữ liệu lặp lại và định lượng hơn.

Hiệu suất EDS tối ưu.

Được đảm bảo bởi một danh mục các hình học đầu dò đối xứng, góp phần vào khả năng định lượng độc đáo của chúng tôi, kết hợp với độ sáng cực cao X-CFEG để cung cấp bản đồ EDS nhanh chóng trên nhiều loại vật liệu nhất.

Thí nghiệm in situ và động tốt nhất.

Máy ảnh nhanh, đầu dò hóa học, phần mềm thông minh và ống kính S-TWIN khoảng cách rộng của chúng tôi cho phép thu thập dữ liệu in situ mà không làm giảm độ phân giải và khả năng phân tích.

Độ ổn định môi trường tốt nhất.

Vỏ bọc được thiết kế lại và cơ sở Spectra 300 S/TEM cực kỳ ổn định với cách ly rung động thụ động và (tùy chọn) chủ động (với iVIS) giảm thiểu ảnh hưởng môi trường bên ngoài và đảm bảo dữ liệu chất lượng cao nhất từ các thí nghiệm dài hạn và ngắn hạn.

Phạm vi rộng nhất của đặc tính bán dẫn trên một nền tảng.

Sự kết hợp tốt nhất giữa quang học, phát hiện cực nhạy và mảnh cực rộng, đảm bảo rằng ngay cả những vật liệu nhẹ nhất, nhạy cảm nhất cũng có thể được đặc trưng ở quy mô nguyên tử.

Điểm nổi bật về kỹ thuật

• Tùy chọn nguồn electron có thể cấu hình: X-FEG+ monochromator; X-FEG+ UltiMono và X-CFEG

• Bộ hiệu chỉnh đầu dò S-CORR mới sửa lỗi astigmatism sáu chiều ở tất cả các điện áp tăng tốc

• Phần mềm tự động căn chỉnh S-CORR tự động mới đến sửa lỗi bậc cao

• Thiết kế ống kính và bộ hiệu chỉnh Thermo Scientific ConstantPower™ cho sự ổn định nhiệt tối ưu trong chuyển đổi chế độ, giảm thiểu trôi hình ảnh

• Bàn dịch chuyển Piezo với bước 20 pm để định tâm mẫu và bù trôi mẫu tinh vi

• Xoay hình ảnh TEM trực tiếp để căn chỉnh các tính năng thiết bị và đồng bộ hóa với chuyển động bàn dịch chuyển

• Tùy chọn hệ thống Super-X và Dual-X EDS

• Thiết kế đầu dò EDS đối xứng cho phép nghiên cứu EDS 3D của các thiết bị

• Gói tự động hóa OptiMono và OptiSTEM để tối ưu hóa độ phân giải năng lượng và hình ảnh STEM, tương ứng

• Máy ảnh tìm kiếm và xem kỹ thuật số, SmartCam, cải thiện việc xử lý tất cả các ứng dụng và cho phép vận hành ban ngày

• Hệ thống hoàn toàn kỹ thuật số với điều khiển từ xa

• Vận hành nhanh chóng, dễ dàng và chuyển đổi chế độ cải thiện năng suất

Để biết thêm chi tiết về các ứng dụng của Spectra 300 S/TEM cho bán dẫn, vui lòng truy cập trang web:

https://www.thermofisher.com/order/catalog/product/SPECTRA300?SID=srch-srp-SPECTRA300

Hoặc liên hệ trực tiếp với ADGroup.