Tiêu chuẩn | - Máy dò tán xạ ngược có thể thu vào được cơ giới hóa
- Máy dò TrueSight EDS
- Camera Nav-Cam—máy ảnh quang học màu để điều hướng mẫu
- Giao diện người dùng
- Camera buồng hồng ngoại
- Phần mềm Bản đồ để ghép ảnh và kết nối các điểm ảnh
|
Độ phân giải chùm tia điện tử
| - 3.0 nm @ 30 kV (SE)
- 3.0 nm @ 30 kV (SE) (độ chân không thấp)
- 8.0 nm @ 3 kV (SE)
- 7.0 nm @ 3 kV (BD mode* + BSE)
|
Buồng mẫu | - Chiều rộng bên trong: 280 mm
- Cổng: Kính hiển vi điện tử quét Axia ChemiSEM được định cấu hình với BSED và EDS cung cấp 5 cổng khả dụng
|
Bệ mẫu | - XY: 120x120 mm
- Nghiêng: -15 đến +90 độ
- Độ Xoay: n x 360°
- Khi trục ZTR bị loại bỏ:
- tối đa. chiều cao mẫu: 128 mm
- tối đa. trọng lượng mẫu: 10 kg
|
Tùy chọn phổ biến
| - Máy dò TrueSight EDS cỡ lớn
- Quasor-II EBSD
- Công nghệ tiên tiến ChemiSEM để hiệu chỉnh độ trôi và bản đồ lượng tử trên mỗi phần tử
- Giấy phép ChemiView để xử lý dữ liệu EDS ngoại tuyến
- Chế độ giảm tốc chùm tia điện tử
- Giai đoạn CleanHeater (lên đến 1.100°C)
- Máy dò phát quang catốt photon
- Phần mềm AutoScript 4—Giao diện lập trình ứng dụng dựa trên Python
- Phần mềm Thermo Scientific TopoMaps để tô màu hình ảnh, phân tích hình ảnh và tái tạo bề mặt 3D
|