Kính hiển vi điện tử truyền qua Metrios AX S-TEM
Ứng dụng
·
Kiểm soát quy trình xuất bằng kính hiển vi điện tử
·
Kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi
·
Nghiên cứu vật liệu cấu thành
·
Nghiên cứu và phát triển bán dẫn
·
Đo lường bán dẫn
·
Phân tích lỗi bán dẫn
·
Đặc tính hóa vật liệu bán dẫn
Các ưu điểm chính
Nhất quán, lặp lại và chính xác.
Được thiết kế cho ngành công nghiệp bán dẫn để cung cấp hình ảnh, phân tích và đo lường dựa trên TEM và STEM tự động.
Đảm bảo độ chính xác của đo lường.
Sai số kết hợp dưới 0,75% trong hiệu chỉnh biến dạng và phóng đại cho cả TEM và STEM.
Thu thập EDS và EFTEM tự động.
Tự động thu thập, định lượng và đo dữ liệu EDS. Sử dụng tương phản nguyên tố trên các kích thước quan trọng để mở rộng phân tích STEM của bạn.
Kết nối quy trình làm việc.
Dữ liệu quy trình quan trọng được theo dõi qua chuẩn bị mẫu, thu mẫu và hình ảnh. Đo lường có thể được áp dụng ngoại tuyến để tối đa hóa thời gian thu thập công cụ. Tất cả dữ liệu hình ảnh và đo lường được hợp nhất trong một trình xem hình ảnh trên web.
Các điểm nổi bật về kỹ thuật
|
Thông số hệ thốngTalos F200C G2 (S)TEM 9C-TWIN)
|
|
Nguồn
|
- Súng phát xạ trường Schottky độ sáng cao, siêu ổn định (X-FEG) và dải điện áp linh hoạt từ 300-200 kV (60-200 kV phù hợp cho tự động hóa)
|
|
Cột quang học và bộ điều chỉnh
|
- Hệ thống tụ ba thấu kính với các chỉ báo cho góc hội tụ và kích thước vùng chiếu sáng; cho phép đo định lượng liều electron và điều kiện chiếu sáng
- Bộ điều chỉnh đầu dò S-CORR mới cung cấp độ phân giải hình ảnh dưới Angstrom ở 60 kV như chỉ định và cải thiện một bậc về độ ổn định quang học; bộ điều chỉnh S-CORR đồng thời điều chỉnh A5 cho tất cả các điện áp tăng tốc
- Phần mềm căn chỉnh tự động CEOS Auto S-CORR mới giúp việc điều chỉnh bộ điều chỉnh đầu dò dễ dàng, nhanh chóng và hoàn toàn tự động đến tận các sai lệch bậc 4
- Cấu trúc cơ học xếp chồng các mô-đun cột được cấp bằng sáng chế, giảm thiểu sự không ổn định do kích thích khử lệch quá mức
- Ống kính công suất không đổi, được thiết kế để cải thiện độ ổn định nhiệt trong các chế độ chuyển đổi, giảm thiểu trôi hình ảnh
- Thiết kế độ trễ thấp giảm thiểu nhiễu chéo giữa các thành phần quang học để cải thiện khả năng tái lập
- Ống kính mục tiêu X-TWIN đối xứng với khe hở cực rộng 5,4 mm để "có không gian làm nhiều hơn", để chứa các đầu giữ đặc biệt như đầu giữ làm nóng, làm lạnh và STM/AFM
- Khẩu độ mục tiêu trong mặt phẳng tiêu điểm sau của ống kính mục tiêu cho công việc ứng dụng trường tối TEM tối ưu
- Khẩu độ tự động cho phép vận hành điều khiển từ xa và khả năng gọi lại tái lập vị trí khẩu độ trong quá trình thay đổi khẩu độ
- Hình ảnh không xoay để vận hành dễ dàng và mối quan hệ định hướng rõ ràng giữa hình ảnh và nhiễu xạ
- Độ phân giải dưới Angstrom cho tất cả các điện áp tăng tốc (60-200 kV) với độ trôi mẫu thấp (thủ công)
- Cốc Faraday tích hợp và đầu ra dòng fluscreen được hiệu chuẩn là tuyến tính trên toàn dải dòng chùm
|
|
|
- Bệ mẫu piezo 5 trục, siêu ổn định, có máy tính hóa để gọi lại chính xác các vị trí đã lưu trữ và theo dõi các khu vực đã được thăm trong quá trình điều hướng mẫu
- Bệ mẫu piezo cho phép di chuyển tinh chỉnh đến 20 pm để căn chỉnh tính năng quan trọng trong trường quan sát
- Phạm vi nghiêng ±40 độ cho đầu giữ nghiêng kép phân tích để định hướng tối đa số trục vùng của một tinh thể trong một vật liệu đa tinh thể. Với đầu giữ chụp ảnh cắt lớp, ±75 độ giảm thiểu sự thiếu hụt hình nêm trong các cấu trúc 3D
- Bù trôi tuyến tính được cung cấp bởi bệ mẫu piezo có thể được sử dụng để giảm thiểu hạn chế do trôi nhiệt, điều không thể tránh khỏi trong các thí nghiệm làm nóng hoặc làm lạnh tại chỗ
|
|
Phân tích và đầu dò
|
- Dual-X EDS, phần mềm tích hợp và các tùy chọn Gatan Ultrafast EELS/DualEELS cùng cung cấp lên đến 1000 sp/s dữ liệu EDS và EELS đồng thời
- Phân tích để xác định đỉnh trực tiếp và khớp nền trong quá trình thu thập EDS siêu nhanh
- Thiết kế cảm biến EDS đối xứng cho phép EDS cắt lớp kết hợp
|
|
|
- Định lượng EDS bằng phần mềm Thermo Scientific Velox™ (có chức năng hiệu chỉnh động của bóng đầu giữ theo hàm nghiêng) hoặc phần mềm ESPRIT
- Đầu dò Dual-X: hệ thống đầu dò EDX không cửa sổ đối xứng với góc khối cao và thông lượng cao
- Tốc độ đếm đầu ra: lên đến 260 kcps
- Độ phân giải năng lượng: - 130 eV cho Mn-Kα và 10 kcps (đầu ra) - 2000
|
|
Các tùy chọn đầu dò có sẵn
|
- Đầu dò HAADF (tiêu chuẩn)
- Trên trục trạng thái rắn, 8 đầu dò BF và ADF phân đoạn (tổng cộng 16 phân đoạn) (tiêu chuẩn)
- Camera Thermo Scientific™ Ceta™ 16M (tùy chọn với tăng tốc độ)
- Camera Gatan OneView/OneView IS
- Bộ lọc năng lượng Gatan Continuum Series
- Đầu dò mảng pixel kính hiển vi điện tử (EMPAD) (độc lập)
|
|
Phần mềm
|
- Recipe Editor Software là bộ công cụ ngôn ngữ lập trình đồ họa để xây dựng các công thức tự động hóa
- Smart Automation Software cho phép người vận hành thiết lập các quy trình tự động hóa
|
|
Các bộ giữ mẫu có sẵn
|
- Đầu giữ nghiêng đơn
- Đầu giữ nghiêng kép
- Đầu giữ chụp ảnh cắt lớp
- Đầu giữ tại chỗ Thermo Scientific
- Vui lòng yêu cầu danh sách các hệ thống giữ mẫu theo chức năng
|
|
Các tính năng khác
|
- Vỏ môi trường để giảm bớt các yêu cầu về âm thanh và biến đổi nhiệt độ phòng
- Thiết kế bẫy lạnh cho thời gian vận hành lên đến bốn ngày, tối đa hóa thời gian hoạt động
|
|
Yêu cầu cài đặt
|
- Vui lòng liên hệ với đại diện bán hàng của bạn để có danh sách đầy đủ các yêu cầu trước khi cài đặt
|
Để biết thêm chi tiết về các ứng dụng của Metrios AX S/TEM trong Khoa học Vật liệu, vui lòng truy cập trang web:
https://www.thermofisher.com/order/catalog/product/METRIOSAX?SID=srch-srp-METRIOSAX
Hoặc liên hệ trực tiếp với ADGroup
