AD Group

Giá bán: Đang cập nhật

Liên hệ ngay

Kính hiển vi điện tử truyền qua Metrios 6 (S)TEM Quy trình đo lường bán dẫn hoàn toàn tự động, năng suất cao

Ứng dụng

Các ưu điểm chính

Smart Stage—Tự động thực hiện việc nạp mẫu, điều hướng, tối ưu hóa, và chụp ảnh.

Hệ thống phát hiện Ultra-X EDS—Cung cấp phân tích nguyên tố nhanh gấp 2 lần trong khi duy trì tính toàn vẹn của mẫu nhạy cảm.

Thấu kính công suất không đổi—Chuyển đổi điện áp cho phép hệ thống sẵn sàng hoạt động trong vài phút thay vì vài giờ.

Smart Automation—Huấn luyện mô hình nhanh gấp 50 lần để tạo ra dữ liệu tham chiếu nhất quán, đáng tin cậy, và có thể mở rộng.

X-CFEG option—Phân tích nguyên tố EELS độ phân giải cao, STEM hiệu suất cao, và thu thập EDS.

Thông số kỹ thuật

Smart Stage điều khiển bằng piezo với năm trục, kích thước bước XYZ tối thiểu ≤20 pm

Đầu dò Ultra-X cung cấp khả năng phát hiện EDS không cửa sổ nhạy cao với góc rắn lớn và độ sạch cao

Hệ thống ngưng tụ ba thấu kính với chỉ báo cho góc hội tụ và kích thước vùng chiếu sáng, cho phép đo lường định lượng cấp độ electron và điều kiện chiếu sáng

Bộ sửa lỗi S-CORR cung cấp độ phân giải hình ảnh dưới Ångström ở 60 kV theo thông số kỹ thuật và cải thiện một bậc về độ ổn định quang học

Lựa chọn súng phát xạ trường Schottky độ sáng cao ổn định (X-FEG) hoặc súng phát xạ trường lạnh độ sáng cực cao (X-CFEG) với độ phân giải năng lượng <0.4 eV

Phần mềm Smart Automation cho phép thiết lập các quy trình tự động mới trong <4 giờ cho các quy trình làm việc được chọn

Phần mềm điều khiển góc nghiêng Alpha-tilt dưới goniometer; phạm vi nghiêng ±40 độ cho giá đỡ nghiêng kép độ chính xác cao

Định lượng EDS sử dụng phần mềm Thermo Scientific Velox, với tính năng chỉnh động bóng giá đỡ theo chức năng nghiêng

Đảm bảo độ chính xác đo lường chế độ TEM và STEM, sai số kết hợp dưới 0.75% trong hiệu chỉnh méo và phóng đại

Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup để được hỗ trợ kỹ thuật.