Chat ngay
+84 2438612612
CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ KHOA HỌC KỸ THUẬT AN DƯƠNG
info@adgroup.vn
Colorlib Template

Kính hiển vi điện tử quét Scios 2 DualBeam

Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific

Giá bán: Đang cập nhật

Liên hệ ngay

Kính hiển vi điện tử quét chùm tia ion hội tụ cho độ phân giải siêu cao, chuẩn bị mẫu chất lượng cao và xác định cấu trúc 3D.


Các ứng dụng

  • Kiểm soát quy trình bằng kính hiển vi điện tử
  • Kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi
  • Nghiên cứu đặc tính vật liệu
  • Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
  • Đo lường bán dẫn
  • Phân tích lỗi bán dẫn
  • Đặc trưng vật liệu bán dẫn

Các ưu điểm chính

Chuẩn bị nhanh chóng và dễ dàng

Mẫu TEM và đầu dò nguyên tử chất lượng cao, theo vị trí đặc hiệu, sử dụng cột ion Sidewinder HT.

Hình ảnh có độ phân giải siêu cao

Sử dụng cột Electron Thermo Scientific NICol với hiệu suất hàng đầu trong phân khúc trên phạm vi mẫu rộng nhất, bao gồm cả vật liệu từ tính và không dẫn điện.

Thông tin đặc tính mẫu hoàn chỉnh nhất

Với độ tương phản sắc nét, tinh tế và không có nhiễm điện tích được thu nhận từ nhiều loại đầu dò tích hợp trong cột và dưới thấu kính.

Thông tin 3D và dưới bề mặt đa phương thức, chất lượng cao

Truy cập thông tin 3D và dưới bề mặt đa phương thức, chất lượng cao với việc nhắm mục tiêu chính xác khu vực quan tâm bằng phần mềm tùy chọn AS&V4.

Điều hướng mẫu chính xác

Tùy chỉnh theo nhu cầu ứng dụng cá nhân nhờ vào bàn di động linh hoạt 110 mm và Camera Nav-Cam trong buồng Thermo Scientific.

Chụp ảnh và tạo mẫu Artifact-free

Với các chế độ chuyên dụng như DCFI, giảm sự dịch chuyển  và các Chế độ SmartScan của Thermo Scientific.

Tối ưu hóa giải pháp của bạn

Đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cụ thể nhờ vào cấu hình DualBeam linh hoạt, bao gồm chế độ chân không thấp tùy chọn với áp suất buồng lên đến 500 Pa.

Thông số kỹ thuật

Độ phân giải chùm điện tử

 

·        WD tối ưu

o   0.7 nm ở 30 keV STEM

o   1.4 nm ở 1 keV

o   1.2 nm ở 1 keV với giảm tốc chùm tia

Khoảng tham số chùm electron

·        Phạm vi chùm tia: 1 pA đến 400 nA

·        Dải năng lượng đáp: 20* eV – 30 keV

·        Dải điện áp gia tốc: 200 V – 30 kV

·        Chiều rộng trường ngang tối đa: 3.0 mm tại 7 mm WD và 7.0 mm tại 60 mm WD

·        Trường quan sát cực rộng(1×) có sẵn thông qua montage điều hướng tiêu chuẩn

Quang học ion

·        Điện áp gia tốc: 500 V – 30 kV

·        Dải dòng tia: 1.5 pA – 65 nA

·        Dải khẩu độ 15 vị trí

·        Chế độ triệt tiêu độ lệch theo tiêu chuẩn cho các mẫu không dẫn điện

·        Tuổi thọ nguồn tối thiểu: 1.000 giờ

·        Độ phân giải tia ion: 3,0 nm tại 30 kV sử dụng phương pháp biên chọn lọc

Các đầu dò

·        Hệ thống phát hiện Trinity (trong thấu kính và trong cột)

o   Đầu dò trong thấu kính phân đoạn T1

o   Đầu dò trong thấu kính phía trên T2

o   Đầu dò trong cột có thể thu hồi T3 (Tùy chọn)

o   Lên đến bốn tín hiệu được phát hiện đồng thời

·        Đầu dò Everhart-Thornley SE (ETD)

·        Đầu dò chuyển đổi ion và điện tử (ICE) hiệu suất cao cho ion thứ cấp (SI) và điện tử thứ cấp (SE) (Tùy chọn)

·        Đầu dò điện tử tán xạ ngược phân đoạn trạng thái rắn độ tương phản cao, điện áp thấp có thể thu hồi (DBS) (Tùy chọn)

·        Đầu dò STEM 3+ có thể thu hồi với các phân đoạn BF/ DF/ HAADF (Tùy chọn)

·        Camera hồng ngoại để quan sát mẫu và buồng

·        Camera dẫn hướng mẫu Nav-Cam trong buồng (Tùy chọn)

·        Đo lường dòng tia tích hợp

Bễ đỡ mẫu và mẫu

Bệ đỡ mẫu cơ giới với 5 trục linh hoạt

·        Phạm vi XY: 110 mm

·        Phạm vi Z: 65 mm

·        Xoay: 360° (vô tận)

·        Phạm vi nghiêng: -15° to +90°

·        Độ lặp lại XY: 3 μm

·        Chiều cao mẫu tối đa: Khoảng cách 85 mm đến điểm tâm

·        Trọng lượng mẫu tối đa ở độ nghiêng 0°: 5 kg (Bao gồm cả giá đỡ mẫu)

·        Kích thước mẫu tối đa: 110 mm với góc quay hoàn toàn (có thể lấy mẫu lớn hơn với góc quay hạn chế)

·        Xoay và nghiêng đồng tâm

 

Để biết thêm chi tiết về kính hiển vi điện tử chùm tia hội tụ Scios 2 DualBeam, xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/dualbeam-fib-sem-microscopes/scios-2-dualbeam-microscope.html#features

Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup để được hỗ trợ kỹ thuật.

Sản phẩm liên quan