Nguồn

• Cột SEM phát xạ từ tính siêu cao Elstar với: - Ống kính mục tiêu từ tính ngâm - Súng phát điện trường Schottky ổn định để cung cấp dòng phân tích ổn định với độ phân giải cao - Công nghệ monochromator UC+ - SmartAlign: Công nghệ tự căn chỉnh không cần người dùng căn chỉnh
• Ống kính hai mục đích 60 độ với bảo vệ miếng cắt ngang cho phép nghiêng mẫu lớn hơn
• Các miệng cắt tự động được làm nóng để đảm bảo vệ sinh và trao đổi miếng cắt không tiếp xúc
• Quét điện tĩnh cho độ tuyến tính và tốc độ quét cao hơn
• Công nghệ ống kính ConstantPower™ để đạt độ ổn định nhiệt cao hơn
• Bộ tắt tia nhanh tích hợp*
• Chế độ giảm tốc tia với sự nghiêng từ 0 V đến -4 kV
• Tuổi thọ tối thiểu của nguồn: 12 tháng

Độ phân giải tia electron

• 0.6 nm tại 30 kV STEM*
• 0.6 nm tại 2-15 kV
• 0.7 nm tại 1 kV
• 1.0 nm tại 500 V

Phạm vi tham số tia electron

• Dải dòng electron: 0.8 pA đến 100 nA
• Dải điện áp tăng tốc: 350 V - 30 kV
• Dải năng lượng hạ cánh: 20 eV - 30 keV
• Chiều rộng trường ngang tối đa: 2.3 mm tại khoảng cách làm việc 4 mm

Đầu dò

• Đầu dò SE/BSE trong ống kính Elstar (TLD-SE, TLD-BSE)
• Đầu dò SE/BSE trong cột Elstar (ICD)
• Đầu dò BSE trong cột Elstar (MD)
• Đầu dò SE Everhart-Thornley (ETD)
• Máy ảnh hồng ngoại để quan sát mẫu/ cột
• Máy ảnh điều hướng mẫu Thermo Scientific Nav-Cam™
• Đầu dò electron phản xạ ngược hướng thể thẳng thể thế hệ thấp, độ tương phản cao có thể thu vào (DBS)*
• Đầu dò STEM 3+ có thể thu vào với các đoạn BF/ DF/ HAADF*
• Đo lường dòng tia electron tích hợp

Bệ mẫu và mẫu

Verios 5 UC

• Loại: Lắp trên cửa, sân khấu điện cực 5 trục chính xác cao, với trục XYR điều khiển bằng piezo
• Tải mẫu: Qua cửa buồng
• XY: 150 × 150 mm²
• Độ lặp lại: < 1.0 μm
• Z điều khiển bằng máy: 10 mm
• Xoay: 360° (vô hạn)
• Nghiêng: -10° / +60°
• Chiều cao mẫu tối đa: 55 mm đến điểm eucentric (WD = 4 mm)
• Trọng lượng mẫu tối đa: 500 g ở góc nghiêng 0°, bao gồm giá đỡ mẫu
• Kích thước mẫu tối đa: Đường kính 150 mm với xoay đầy đủ (có thể có mẫu lớn hơn với hành trình hoặc xoay sân khấu hạn chế)

Verios 5 HP

• Loại: Lắp trên buồng, sân khấu điện cực 5 trục toàn bộ ổn định bằng piezo.
• Mẫu: Qua khóa tải tự động
• XY: 100 x 100 mm²
• Độ lặp lại: < 0.5 μm
• Z điều khiển bằng máy: ≥ 20 mm
• Xoay: 360° (vô hạn)
• Nghiêng: -10° / +60°
• Chiều cao mẫu tối đa: 19 mm đến điểm eucentric, bao gồm shuttle, qua khóa tải 27.8 mm đến điểm eucentric, qua cửa buồng
• Trọng lượng mẫu tối đa: 200 g cho phạm vi chuyển động đầy đủ, bao gồm giá đỡ mẫu
• Kích thước mẫu tối đa: Đường kính 100 mm với xoay đầy đủ (có thể có mẫu lớn hơn với hành trình hoặc xoay sân khấu hạn chế)

Hệ thống chân không

• Hệ thống chân không hoàn toàn không dầu
• Chân không buồng: < 2.6 × 10-6 mbar (sau khi bơm 24 giờ) • Thời gian tiếp tục: < 5 phút
• Bẫy lạnh CryoCleaner tùy chọn

Giá đỡ mẫu

• Giá đỡ nhiều mẫu chất lượng cao
• Giá đỡ STEM, bao gồm bộ dò STEM3+ có thể thu vào* • Giá đỡ mẫu vít để kẹp các mẫu không đều, lớn hoặc nặng lên sân khấu mẫu*
• Các giá đỡ wafer và tùy chọn giá đỡ tùy chỉnh có sẵn theo yêu cầu*

Điều khiển hệ thống

• Giao diện người dùng 64-bit với Windows 7, bàn phím, chuột quang
• Đến bốn hình ảnh trực tiếp hiển thị các tia riêng lẻ và/ hoặc tín hiệu. Trộn màu tín hiệu trực tiếp
• Hỗ trợ ngôn ngữ địa phương: Kiểm tra với đại diện bán hàng Thermo Fisher Scientific địa phương của bạn để biết các gói ngôn ngữ có sẵn
• Hai màn hình rộng 24 inch (1920×1200 pixel) cho giao diện hệ thống và hình ảnh toàn màn hình
• Máy điều khiển kính hiển vi và máy tính hỗ trợ chia sẻ một bàn phím, chuột và màn hình
• Điều khiển nhiều chức năng*
• Điều khiển và hình ảnh từ xa*
• Đăng ký hình ảnh cho phép điều hướng mẫu trong hình ảnh đã được nhập vào

Bộ xử lý hình ảnh

• Dải thời gian lưu trú từ 25 ns đến 25 ms/pixel

• Độ phân giải lên đến 6144 × 4096 điểm ảnh

• Loại tệp: TIFF (8, 16, 24-bit), BMP hoặc JPEG chuẩn

• Hiển thị hình ảnh một khung hoặc bốn khung

• SmartSCAN™ (256 khung trung bình hoặc tích hợp, tích hợp dòng và trung bình, quét xen kẽ)

• DCFI (Drift Compensated Frame Integration)

Các tùy chọn hệ thống

Integrated Fast Beam Blanker

• Công nghệ Thermo Scientific QuickLoader™ Vacuum: khóa nạp để chuyển mẫu nhanh (chỉ dành cho Verios 5 UC)*
• Điều khiển bằng joystick
• Phân tích: EDS, EBSD, WDS bằng tia song song, CL, Raman
• Bộ động cơ mô hình 16-bit tích hợp
• Các mô-đun lithography tia electron từ Raith, Nabity hoặc các nhà cung cấp khác*
• Vỏ bảo vệ âm thanh Thermo Scientific
• Bộ giữ mẫu
• Vỏ bảo vệ âm thanh cho bơm chân không • Tùy chọn tiền chân không không dầu (bơm lăn kép)
• Hệ thống GIS (Gas Injection System)
• Cryo SEM: Chuyển mẫu và chuẩn bị, giai đoạn lạnh
• Mẫu chuẩn giấy chứng nhận phóng đại NIST

Các tùy chọn phần mềm

MAPS™ để tự động chụp khu vực lớn sử dụng lát và ghép; công việc tương quan

• AutoScript 4, một giao diện lập trình ứng dụng (API) dựa trên Python
• Phần mềm tạo mẫu
• TopoMaps để tô màu hình ảnh, phân tích hình ảnh và xây dựng bề mặt 3D
• Cell Navigator™ để điều hướng tế bào bit
• Phần mềm lưu trữ dữ liệu có kết nối mạng
• Phần mềm điều khiển từ xa

Bảo hành và đào tạo

• Bảo hành 1 năm
• Lựa chọn hợp đồng bảo trì dịch vụ
• Lựa chọn hợp đồng đào tạo vận hành/ứng dụng
• Tài liệu và hỗ trợ
• Hướng dẫn người dùng trực tuyến
• Sách hướng dẫn vận hành người dùng
• Sẵn sàng cho RAPID™ (hỗ trợ chẩn đoán từ xa) * Tùy chọn

Tài liệu

• Đào tạo có hướng dẫn video
• Hướng dẫn người dùng trực tuyến
• Sổ tay hướng dẫn vận hành
• Trợ giúp trực tuyến
• Chuẩn bị cho dịch vụ RAPID™ của Thermo Scientific (hỗ trợ chẩn đoán từ xa)