Giá bán: Đang cập nhật
Liên hệ ngayKính hiển vi tập trung ion plasma dùng để chuẩn bị mẫu TEM bao gồm đặc trưng hóa 3D, cắt ngang và gia công vi điện tử nhỏ.
Các ứng dụng
Các tính năng chính
Các tính năng chính cho Khoa học Vật Liệu
Chuẩn bị mẫu STEM và TEM không có gallium
Chuẩn bị mẫu STEM và TEM chất lượng cao không có gallium nhờ vào cột PFIB mới cho phép phủ Xe+ cuối cùng ở 500 V và cung cấp hiệu suất vượt trội ở mọi điều kiện hoạt động.
Tự động hóa tiên tiến
Chuẩn bị mẫu TEM và cross-sectioning nhanh nhất và dễ dàng nhất, đa điểm in situ và ex situ bằng phần mềm AutoTEM 5 tùy chọn.
Cột xenon plasma FIB thế hệ tiếp theo 2.5 μA
Xử lý mẫu 3D, cắt ngang và gia công vi điện tử nhỏ thông qua cột xenon plasma FIB thế hệ tiếp theo 2.5 μA (PFIB).
Thông tin 3D và dưới bề mặt đa phương thức
Truy cập thông tin dưới bề mặt và 3D chất lượng cao với định vị chính xác vùng quan tâm bằng phần mềm Auto Slice & View 4 (AS&V4) tùy chọn.
Hiệu suất dưới sub-nanometer ở năng lượng thấp
Phát hiện các chi tiết tinh xảo nhờ cột Electron Elstar với công nghệ UC+ monochromator cao dòng, cho phép hiệu suất dưới sub-nanometer ở năng lượng thấp.
Thông tin mẫu hoàn chỉnh
Thông tin mẫu hoàn chỉnh nhất với độ tương phản sắc nét, rõ ràng và không có điện tích từ tới sáu cảm biến tích hợp trong cột và dưới ống kính.
Các khả năng tiên tiến
Các khả năng tiên tiến nhất cho phép kết tủa và ăn mòn bằng tia điện và ion trên hệ thống FIB/SEM với hệ thống giao Gas MultiChem hoặc GIS tùy chọn của Thermo Scientific.
Chụp ảnh Artifact-free
Chụp ảnh Artifact-free dựa trên quản lý sạch sẽ mẫu tích hợp và các chế độ chụp ảnh đặc biệt như chế độ SmartScan™ và DCFI.
Thời gian ngắn để có thông tin ở cấp độ nano
Thời gian ngắn nhất để có thông tin ở cấp độ nanocho người dùng ở mọi trình độ kinh nghiệm với các công nghệ SmartAlign và FLASH.
Điều hướng mẫu chính xác
Điều hướng mẫu chính xác theo nhu cầu ứng dụng cụ thể nhờ vào sự ổn định và chính xác cao của bệ đỡ điều khiển mẫu Piezo 150 mm và Nav-Cam tùy chọn trong buồng.
Các tính năng chính cho Khoa học bán dẫn
Giải pháp giải phóng thiết bị Bán dẫn
Sự kết hợp của hóa học Dx và tia FIB plasma cung cấp quy trình giải phóng và phân tích lỗi đặc biệt, chỉ định vị trí cho logic tiên tiến, 3D NAND và DRAM.
Cross-sectioning khu vực lớn, tốc độ cao
Cột xenon PFIB thế hệ tiếp theo 2.5 μA cung cấp xử lý mẫu 3D, cross-sectioning và gia công vi điện tử nhỏ với sản lượng cao, chất lượng cao và độ tin cậy thống kê.
Chuẩn bị mẫu TEM
Thực hiện chuẩn bị mẫu TEM chất lượng cao, lớp đơn phẳng và mặt cắt ngang, từ trên xuống và ngược lại bằng cách kết hợp phương pháp deprocessing PFIB và các luồng làm việc hướng dẫn của Thermo Scientific.
Hiệu suất SEM tinh xảo, sub-nanometer ở năng lượng thấp
Tiết lộ các chi tiết tinh xảo nhờ cột Electron Elstar với công nghệ UC+ monochromator cao dòng, cho phép hiệu suất dưới sub-nanometer ở năng lượng thấp.
Tự động hóa tiên tiến
Thực hiện giải phóng tự động với điểm cuối. Các công nghệ SmartAlign và FLASH giảm thời gian đưa thông tin xuống cấp độ nano cho người dùng ở mọi trình độ kinh nghiệm.
Thông tin mẫu hoàn chỉnh
Nhận được thông tin mẫu hoàn chỉnh nhất với độ tương phản sắc nét, rõ ràng và không có điện tích từ từ tới sáu cảm biến tích hợp trong cột và dưới ống kính.
Chụp ảnh Artifact-free
Nhận được chụp ảnh artifact-free với đánh bóng tự động in situ và các chế độ chụp ảnh đặc biệt như chế độ SmartScan và DCFI.
Điều hướng mẫu chính xác
Trải nghiệm điều hướng mẫu chính xác phù hợp với nhu cầu ứng dụng cá nhân từ cấu hình bệ điều khiển mẫu 5 trục có động cơ và các tùy chọn bệ điều khiển độ phân giải siêu cao.
Để biết thêm thông tin chi tiết về cấu hình kỹ thuật Helios 5 PFIB DualBeam, xin vui lòng truy cập wevsite: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/dualbeam-fib-sem-microscopes/helios-5-pfib-dualbeam.html#features
Hoặc liên hệ trực tiếp tới ADGroup để được hỗ trợ kỹ thuật