CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ KHOA HỌC KỸ THUẬT AN DƯƠNG
info@adgroup.vn
Giá bán: Đang cập nhật
Liên hệ ngay Chuẩn bị mẫu FIB-SEM TEM cho ngành công nghiệp bán dẫn, cho phép phân tích toàn bộ tấm wafer.Ứng dụng:
Các ưu điểm chính
Phần mềm chuẩn bị mẫu TEM tự động
Phần mềm Thermo Scientific AutoTEM 5 kết hợp điều hướng wafer và vết lỗi với việc xác định và thực hiện công thức trong một chương trình duy nhất, tích hợp đầy đủ, đảm bảo hiệu quả và tính nhất quán giữa những người vận hành có trình độ chuyên môn khác nhau. Phần mềm AutoTEM đơn giản hóa việc chuẩn bị mẫu TEM, cho phép người dùng dễ dàng lên lịch các công việc tại nhiều địa điểm cho quy trình chuẩn bị mẫu TEM đảo ngược, xem sơ đồ và từ trên xuống.
Lặp lại, tự động trầm tích và ăn mòn
Hệ thống cung cấp khí MultiChem của Thermo Scientific, được phát triển đặc biệt để hỗ trợ quá trình chuẩn bị TEM tự động, cung cấp khả năng lắng đọng và khắc ăn mòn rất nhất quán và có thể được sử dụng với các ứng dụng tự động. Kim tiêm được điều khiển bằng động cơ với các cài đặt vị trí đã lưu trữ có thể được định vị chính xác để tối ưu hóa và tái lập việc cung cấp khí đến bề mặt mẫu. Hệ thống cung cấp khí MultiChem cũng được thiết kế để dễ bảo trì, tối đa hóa thời gian hoạt động của thiết bị.
Phay FIB chính xác cho chuẩn bị mẫu nâng cao
The Helios 5 EXL DualBeam includes the Thermo Scientific Phoenix
Ion Column, which provides revolutionary low-kV performance and leading-edge
TEM sample preparation.
Căn chỉnh tự động, độ phân giải cao, và kết quả nhất quán
Cột electron hiệu suất cao Thermo Scientific Elstar với công nghệ đơn sắc UC độc quyền, mang lại độ phân giải cải thiện và xác định điểm cuối mẫu TEM. Các căn chỉnh tự động SEM mới đảm bảo kết quả nhất quán với sai số chủ quan thấp.
Tự động vận chuyển mẫu và tách mẫu ra khỏi một môi trường ban đầu
Với phương pháp trực quan để nhấc và chuyển mẫu TEM sang lưới, Nanomanipulator EasyLift của Thermo Scientific cung cấp các chuyển động chính xác cao, ít lệch để tạo ra các lamella TEM truyền thống hoặc siêu mỏng đơn giản và đồng đều. Chuyển động quay bằng động cơ chính xác cao, dễ sử dụng và nhanh chóng làm cho Nanomanipulator EasyLift trở nên lý tưởng cho việc chuẩn bị mẫu dưới dạng đảo ngược hoặc xem mặt phẳng tốc độ cao.
Tùy chọn Trình tải FOUP tự động (AFL) tương thích với Fab
Tùy chọn Automated FOUP Loader (AFL) cho phép Helios 5 EXL DualBeam được đặt bên trong nhà máy sản xuất wafer bán dẫn. Bằng cách ở gần dây truyền xử lý wafer hơn, nó có thể cung cấp thông tin quan trọng nhanh hơn gấp ba lần so với phân tích các mảnh wafer bị cắt trong phòng thí nghiệm , đẩy nhanh sự nghiên cứu và phát triển của các quy trình mới, tăng tốc độ sản xuất hàng loạt.
Thông số kỹ thuật
|
Cột Ion Thermo Scientific Phoenix |
Chùm ion Gallium- focused Dòng chùm tia tối đa lên tới 65 nA Hiệu suất điện áp thấp (500 V) để đạt chất lượng chuẩn bị mẫu cao Độ phân giải chùm tia ion tại điểm trùng khớp và 30 kV: 4,0 nm sử dụng phương pháp thống kê ưu tiên Tuổi thọ nguồn ion: đảm bảo 1.000 giờ |
|
Cột Electron: Thermo Scientific Elstar |
Cột kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM) có độ phân giải siêu cao với thấu kính ngâm Súng phát xạ trường Schottky siêu ổn định với công nghệ đơn sắc UC+ Độ phân giải chùm electron: 1.0 nm @ 15 kV 0.9 nm @ 1 kV Tuổi thọ nguồn electron: 12 tháng |
|
Phân phối khí |
Hệ thống phân phối khí MultiChem của Thermo Scientific Khe cắm cho tối đa 6 hóa chất riêng lẻ Hệ thống phun khí đơn Cổng cho tối đa 3 đơn vị GIS độc lập |
|
Đầu dò |
Đầu dò SE trong ống kính Elstar (TLD-SE) Đầu dò BSE trong ống kính Elstar (TLD-BSE) Đầu dò chuyển đổi ion và điện tử (ICE) hiệu suất cao dành cho các ion thứ cấp (SI) và điện tử (SE) |
|
Xử lý mẫu |
Tự động xử lý FOUP 300 mm với EFEM ( tuân thủ GEM300) Tải mẫu thủ công các tấm wafer 300 mm, 200 mm và 150 mm |
|
Các tùy chọn bổ sung |
Kính hiển vi quang học với trường nhìn 920 µm Đầu dò STEM 30 kV STEM với các phân đoạn BF/DF/HAADF Oxford EDS Khả năng tương thích điều hướng CAD (NEXS and Synopsys Camelot) Định vị lớp wafer bán dẫn với phần mềm Thermo Scientific iFast (tùy chọn thêm) Điều hướng lỗi tích hợp dựa trên tiêu chuẩn KLARF 1.2 and 1.8 Bản đồ wafer và sơ đồ trang web do người dùng xác định |
Để biết thêm chi tiết về kính hiển vi điện tử Helios 5 EXL DualBeam, xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/dualbeam-fib-sem-microscopes/helios-5-exl-dualbeam.html#features
Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup để được hỗ trợ kỹ thuật
