I. Tổng quan

Alphacen 200 Drive được chế tạo tỉ mỉ để đáp ứng những yêu cầu phức tạp của nghiên cứu và phát triển trong ngành bán dẫn. Đây là một kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) tiên tiến, vượt trội trong việc ghi lại hình ảnh ở cấp độ nguyên tử nhờ kiến trúc bộ quét mũi dò dạng flexure sáng tạo. Phương pháp kích thích quang nhiệt CleanDrive được tích hợp giúp vận hành ổn định và ít nhiễu, cho phép phân tích chi tiết bề mặt với độ nhám tối thiểu. Ngoài ra, Alphacen 200 Drive còn sở hữu WaveMode – chế độ chụp ngoài cộng hưởng nhanh nhất hiện nay – giúp ghi hình nhẹ nhàng ngay cả với những cấu trúc nhỏ nhất.

II. Tính năng chính

1. Hiệu năng

Alphacen 200 Drive được chế tạo tỉ mỉ để đáp ứng những yêu cầu phức tạp của nghiên cứu và phát triển trong ngành bán dẫn. Đây là một kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) tiên tiến, vượt trội trong việc ghi lại hình ảnh ở cấp độ nguyên tử nhờ kiến trúc bộ quét mũi dò dạng flexure sáng tạo. Phương pháp kích thích quang nhiệt CleanDrive được tích hợp giúp vận hành ổn định và ít nhiễu, cho phép phân tích chi tiết bề mặt với độ nhám tối thiểu. Ngoài ra, Alphacen 200 Drive còn sở hữu WaveMode – chế độ chụp ngoài cộng hưởng nhanh nhất hiện nay – giúp ghi hình nhẹ nhàng ngay cả với những cấu trúc nhỏ nhất.

2. Tính đa dụng

Hệ thống AFM Alphacen 200 Drive không chỉ dừng lại ở khả năng tạo ảnh độ phân giải cao và độ ổn định vượt trội. Với dải quét lớn 100 x 100 x 20 μm³, thiết bị cho phép phân tích toàn diện các mẫu có kích thước lớn, thể hiện tính linh hoạt cao. Khả năng thích ứng này còn thể hiện ở sự tương thích với nhiều phương pháp đặc trưng điện nano (NEC), chẳng hạn như giải pháp Kính hiển vi vi sóng quét (SMM) của Nanosurf. Các nhà nghiên cứu cũng có thể mở rộng chức năng của Alphacen 200 Drive thông qua nhiều phụ kiện và tùy chọn phần mềm, đảm bảo hệ thống luôn phù hợp với những nhu cầu nghiên cứu cụ thể trong lĩnh vực bán dẫn.

3. Tự động hóa

Khám phá cách căn chỉnh laser và hiệu chuẩn cantilever hoàn toàn tự động giúp quy trình đo lường trở nên dễ dàng và hiệu quả hơn. Với bàn mẫu lập trình, điều khiển hoàn toàn ở kích thước 200 x 200 mm² cùng chế độ WaveMode của Alphacen 200 Drive, người dùng có thể thu được các phép đo độ nhám và kích thước chính xác, nhất quán trên toàn dải quét.

4. Độ phân giải cao

Nhờ công nghệ vượt trội của đầu quét DriveAFM, việc ghi hình ở độ phân giải nguyên tử vẫn khả thi ngay cả trên hệ thống với bàn mẫu lớn. Sự kết hợp mạnh mẽ này cho phép quan sát các đặc trưng có kích thước trải rộng qua nhiều bậc độ lớn, mở ra khả năng phân tích đa dạng các cấu trúc.

5. Điện nano cục bộ

Khi được kết hợp với giải pháp SMM của Nanosurf, Alphacen 200 Drive cho phép đặc trưng điện chính xác ở cấp độ nano. Các nhà nghiên cứu có thể đo điện dung cục bộ, mật độ hạt tải, điện trở, độ dẫn điện và hằng số điện môi của các cấu trúc trong những mạch tích hợp tiên tiến. Ngoài ra, SMM còn có khả năng phân tích các đặc trưng bên dưới bề mặt của những thiết kế đa lớp phức tạp. Giải pháp SMM tiên tiến này đảm bảo mang lại kết quả nhanh nhất, giúp hiểu sâu hơn về vật liệu trong nghiên cứu và phát triển bán dẫn.

Để biết thêm thông tin chi tiết về sản phẩm Alphacen 200 Drive, xin vui lòng truy cập website: https://www.nanosurf.com/en/products/alphacen-200-drive

Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup.