Nguồn

• Cột SEM phát quang cao phân giải với súng phát quang Schottky ổn định để cung cấp dòng điện phân tích cao ổn định
• Hình ảnh mục tiêu góc 45° với lỗ khẩu mục tiêu được gia nhiệt
• Bơm khí qua ống kính giảm xạ giảm bụi chất bằng sự chính xác nhất và độ phân giải cao nhất
• Tuổi thọ tối thiểu của nguồn đảm bảo: 12 tháng

Độ phân giải chùm electron

• Hình ảnh chân không cao
• 0.8 nm @ 30 kV (STEM)
• 1.0 nm @ 30 kV (SE)
• 2.5 nm @ 30 kV (BSE)
• 3.0 nm @ 1 kV (SE)
• Hình ảnh chân không cao với giảm tốc chùm
• 3.0 nm @ 1 kV (chế độ BD* + BSED*)
• 2.1 nm @ 1 kV (chế độ BD* + ICD*)
• 3.1 nm @ 200 V (chế độ BD* + ICD*)
• Hình ảnh chân không thấp
• 1.3 nm @ 30 kV (SE)
• 2.5 nm @ 30 kV (BSE)
• 3.0 nm @ 3 kV (SE)
• ESEM
• 1.3 nm @ 30 kV (SE)

Phạn vi tham số chùm electron

• Dải dòng chùm: 1 pA đến 200 nA
• Dải điện áp gia tốc: 200 V – 30 kV
• Dải năng lượng hạ cánh: 20 eV – 30 keV với giảm tốc tia tùy chọn (chỉ SEM Quattro S)
• Phóng đại: từ 6 đến 2500000×

Buồng

• Chiều rộng bên trong: 340 mm
• Khoảng cách làm việc phân tích: 10 mm
• Cổng: 12
• Góc lấy EDS: 35°
• Ba bộ phát hiện EDS đồng thời có thể, hai ở 180°
• EDS/EBSD đồng phẳng vuông góc với trục nghiêng của sân khấu
• Feedthrough điện tổng quát 9 chân

Đầu dò

• ETD – Đầu dò SE Everhart-Thornley
• Đầu dò SE chân không thấp (LVD)
• Đầu dò SED khí (GSED) (sử dụng trong chế độ ESEM)
• Máy ảnh hồng ngoại để xem mẫu trong buồng
• Nav-Cam™: Máy ảnh màu quang học trong buồng
• để điều hướng mẫu*
• DBS – Đầu dò hậu phản xạ phân tách có thể rút hoặc gắn ống kính*
• DBS-GAD – Đầu dò phân tích khí hậu phản xạ gắn ống kính*
• STEM 3+ – Đầu dò quét phân tách có thể rút (BF, 4 DF, 6 HADF)
• Đầu dò quét phản xạ lệch (Chỉ SEM Quattro S)
• WetSTEM™ – Phân tích STEM tích hợp gia nhiệt Peltier để quan sát
• mẫu ướt mỏng (Chỉ Quattro S)
• RGB-CLD – Đầu dò phát quang CL màu thực*
• Đầu dò trong cột (ICD) cho chế độ giảm tốc chùm*
• (Chỉ SEM Quattro S)
• Đo dòng chùm electron*

Hệ thống chân không

Hệ thống chân không

• 1 × 250 lít/s TMP
• 1 × PVP
• 2 × IGP
• Bộ dự phòng tích hợp IGP (bảo vệ hệ thống khi mất điện bất ngờ)
• Bơm qua ống kính chân không có bằng sáng chế
• Độ dài đường ống khí tia: 10 mm hoặc 2 mm
• Thời gian tiêu hao: ≤ 3.5 phút để đạt chân không cao và ≤ 4.5 phút để vào chế độ ESEM
• Bộ hút lạnh CryoCleaner tùy chọn
• Nâng cấp tùy chọn lên bơm PVP không dầu / khô

Giá đỡ mẫu

Giá đỡ mẫu

• Giá đỡ mẫu SEM đa mẫu, gắn trực tiếp lên sân khấu, chứa đến 18 nút tiêu chuẩn (⌀ 12 mm), không cần dụng cụ để gắn mẫu (tiêu chuẩn trên SEM Quattro S, không có trên SEM Quattro C)
• Giá đỡ mẫu đa mục đích cho 18 nút tiêu chuẩn, ba nút được nghiêng trước, mẫu cắt ngang và mẫu STEM là tùy chọn (Chỉ SEM Quattro S)
• Giá đỡ thanh hàng tùy chọn cho 6 lưới S/TEM (Chỉ SEM Quattro S)
• Giá đỡ mẫu wafer và tùy chọn khác

Bệ mẫu

Quattro C

• Loại: 5 trục điện
• XY: 55 × 55 mm
• Độ lặp lại: < 3.0 μm (@ 0° nghiêng)
• Z điện động: 65 mm
• Xoay: n×360°
• Nghiêng: -15° / +90°
• Chiều cao mẫu tối đa: – Khoảng trống 85 mm đến điểm đối xứng (10 mm)
• Trọng lượng mẫu tối đa: – 500 g ở bất kỳ vị trí sân khấu nào (lên đến 2 kg ở 0° nghiêng)
• Kích thước mẫu tối đa: – ⌀ 122 mm với X,Y, quay đầy đủ (mẫu lớn hơn có thể có sự giới hạn về di chuyển hoặc quay sân khấu)

Điều khiển hệ thống

Điều khiển hệ thống

• Giao diện đồ họa 64-bit với Windows, bàn phím, chuột quang
• Màn hình LCD 24 inch, độ phân giải WUXGA 1920 × 1200 (màn hình thứ hai tùy chọn)
• Giao diện người dùng đồ họa có thể tùy chỉnh, cho phép đồng thời hiển thị đến 4 hình ảnh
• Đăng ký hình ảnh để dễ dàng nhập hình ảnh từ các hệ thống khác để điều hướng
• Lắp ghép hình ảnh để điều hướng
• Chức năng Hoàn tác / Làm lại
• Hướng dẫn người dùng giúp người dùng mới hoặc ít thường xuyên có thể đạt được kết quả xuất sắc
• Tay cầm điều khiển tùy chọn
• Giao diện người dùng thủ công tùy chọn (bảng nút)

• Bộ xử lý hình ảnh

• Dải thời gian lưu trú từ 25 ns – 25 ms/pixel
• Độ phân giải lên đến 6144 × 4096 pixel
• Loại tệp: TIFF (8, 16, 24 bit), JPEG hoặc BMP
• Hiển thị hình ảnh đơn hoặc 4 hình ảnh cùng một lúc
• SmartSCAN™ (256-frame average hoặc tích hợp, tích hợp dòng và trung bình, quét xen kẽ)
• DCFI (Drift Compensated Frame Integration)

Phụ kiện in situ (tùy chọn)

• Sân khấu lạnh Peltier điều khiển phần mềm từ -20°C đến +55°C
• Sân khấu gia nhiệt thấp/ESEM 1000°C điều khiển phần mềm
• Sân khấu gia nhiệt cao 1100°C điều khiển phần mềm
• Sân khấu gia nhiệt thấp/ESEM 1400°C điều khiển phần mềm
• Tiêm khí tích hợp: lên đến 2 đơn vị (các phụ kiện khác có thể giới hạn số lượng GIS có sẵn) để tạo phóng chùm vật liệu sau khi tia chùm của các vật liệu sau:
• Bạch kim
• Wolfram
• Carbon
• Bàn tay cầm
• Sân khấu lạnh
• Điện cốt đơn / trạm đa cốt đơn

Các tùy chọn hệ thống

• Giảm tốc chùm với điều kiện sân khấu từ -4000 V đến +50 V (Chỉ Quattro S)
• Bộ tắt chùm điện tĩnh
• Vệ sinh mẫu / buồng: CryoCleaner, Bộ làm sạch Plasma tích hợp
• Công nghệ Thermo Scientific QuickLoader™ Vacuum: khóa nạp để chuyển mẫu nhanh
• Hỗ trợ PC
• Giao diện người dùng thủ công
• Tay cầm điều khiển
• Phân tích: EDS, EBSD, WDS bằng chùm song song, CL, Raman
• Bộ định hình điện tử 16 bit, các mô-đun vi điện tử
• Máy đo dòng mẫu
• Bộ kẹp mẫu
• Vỏ hộp chống tiếng ồn cho bơm chân không
• Tùy chọn tiền chân không không dầu (bơm vòng tua)

Tùy chọn phần mềm

• Phần mềm MAPS cho việc tự động thu thập khu vực lớn sử dụng kỹ thuật tiling và stitching; công việc tương quan
• AutoScript 4; giao diện ứng dụng dựa trên Python
• Phần mềm tạo mẫu
• Phần mềm MAPS cho việc tự động thu thập khu vực lớn sử dụng kỹ thuật tiling và stitching; công việc tương quan
• AutoScript 4; giao diện ứng dụng dựa trên Python
• Phần mềm tạo mẫu

Tài liệu

• Hướng dẫn người dùng trực tuyến
• Sổ tay hướng dẫn vận hành
• Trợ giúp trực tuyến
• Sẵn sàng cho RAPID™ (hỗ trợ chẩn đoán từ xa)

Bảo hành và Đào tạo

• Bảo hành 1 năm
• Lựa chọn hợp đồng bảo trì dịch vụ
• Lựa chọn hợp đồng đào tạo vận hành / ứng dụng

Yêu cầu cài đặt

(Vui lòng tham khảo hướng dẫn cài đặt trước để biết thông tin chi tiết)

• Nguồn điện:
• Điện áp 100 – 240 V AC (-6%, +10%)
• Tần số 50 hoặc 60 Hz (±1%)
• Công suất tiêu thụ: < 3.0 kVA cho kính hiển vi cơ bản
• Điện trở đất < 0.1 Ω
• Môi trường:
• Nhiệt độ (20 ± 3)°C
• Độ ẩm tương đối dưới 80%
• Trường từ AC dư lạc < 40 nT không đồng bộ, < 100 nT đồng bộ cho thời gian dòng, 20 ms (nguồn chính 50 Hz) hoặc 17 ms (nguồn chính 60 Hz)
• Kích thước cửa tối thiểu: 0.9 m rộng × 1.9 m cao
• Trọng lượng: trụ console 980 kg
• Khuyến cáo sử dụng khí nitơ khô để thông gió
• Khí nén 4-6 bar – sạch, khô và không có dầu
• Hệ thống làm mát
• Âm thanh: yêu cầu khảo sát hiện trường để đánh giá phổ âm thanh
• Độ rung sàn: yêu cầu khảo sát hiện trường để đánh giá phổ rung sàn
• Bàn cách ly rung tích hợp tùy chọn

Vật tư tiêu hao (danh sách một phần)

• Mô-đun nguồn electron Schottky thay thế
  

Nanocharacterization

• Kim loại & hợp kim, vỡ vụn, hàn, các mẫu được mài bóng, vật liệu từ tính và siêu dẫn
• Gốm sứ, vật liệu composite, nhựa
• Lớp phủ phim
• Các mẫu đoạn địa chất, khoáng sản
• Vật liệu mềm: polymer, dược phẩm, bộ lọc, gel, mô, vật liệu thực vật
• Hạt, vật liệu rỗng, sợi