Nguồn

• Cột SEM phát xạ nhiệt hiệu suất cao với hình học phát xạ nguồn anode kép tetrode

• Cột ổn định được căn chỉnh điện tử với khẩu độ mục tiêu cố định để dễ vận hành

• Hình học thấu kính mục tiêu 45°

• Bơm vi sai qua thấu kính giảm trượt chùm tia cho phân tích chính xác nhất và độ phân giải cao nhất ở năng lượng chùm tia thấp trong chân không thấ

Độ phân giải chùm tia điện tử

• Hình ảnh chân không cao
• 3.0 nm @ 30 kV (SE)
  
• 4.0 nm @ 30 kV (BSE)*
  
• 8.0 nm @ 3 kV (SE)
  
• Hình ảnh chân không cao với giảm tốc chùm tia
•  7.0 nm @ 3 kV (chế độ BD* + DBS*)
• Hình ảnh chân không thấp
• 3.0 nm @ 30 kV (SE)
• 4.0 nm @ 30 kV (BSE)
  
• 10 nm @ 3 kV (SE)
  
• ESEM
• 3.0 nm @ 30 kV (SE)

Phạm vi tham số chùm tia điện tử

• Phạm vi dòng điện chùm tia: lên đến 2 µA, điều chỉnh liên tục
• Phạm vi điện áp tăng tốc: 200 V – 30 kV
• Độ phóng đại: 5 đến 1,000,000× (Polaroid)

Buồng chứa

• Chiều rộng bên trong: 340 mm
• Khoảng cách làm việc phân tích: 10 mm
• Cổng: 12
• Góc lấy đi EDS: 35°
• Ba đầu dò EDS đồng thời có thể, hai ở góc 180°
• EDS/EBSD đồng phẳng vuông góc với trục nghiêng của bệ mẫu • Cổng điện đa dụng 7 hoặc 52 chân

• ETD – Đầu dò SE Everhart-Thornley
• Đầu dò SE chân không thấp (LVD)
• Đầu dò SE khí (GSED) (sử dụng trong chế độ ESEM)
• Camera IR để xem mẫu trong buồng
• Camera Nav-Cam™ của Thermo Scientific™ – camera quang học màu để điều hướng mẫu*
• DBS – Đầu dò Backscatter Directional; có thể rút lại hoặc gắn dưới thấu kính BSED phân đoạn*
• DBS-GAD – Đầu dò phân tích khí gắn dưới thấu kính BSED*
• ESEM-GAD cho phát hiện SE và BSE đồng thời trong ESEM ở áp suất buồng cao*
• STEM 3+ – Đầu dò phân đoạn có thể rút lại (BF, DF, HADF, HAADF)*
• Đầu dò WetSTEM™ của Thermo Scientific™ – Giai đoạn làm mát tích hợp STEM để quan sát các mẫu ướt mỏng*
• RGB-CLD – đầu dò cathodoluminescence (CL) màu thực*

Công nghệ ChemiSEM*

Màu hình ảnh SEM trực tiếp có sẵn dựa trên phổ tia X phân tán năng lượng (EDS). Bao gồm Điểm & ID, quét dòng, vùng, bản đồ nguyên tố và định lượng Noran chính xác.

• Kích thước đầu dò EDS: 10, 30, 60 hoặc 100 mm²
• Độ nhạy nguyên tố nhẹ xuống đến beryllium
• Độ phân giải phổ 127 eV hoặc 129 eV
• Có sẵn thanh trượt động cơ tùy chọn
• Chế độ nâng cao với Pathfinder*

Hệ thống chân không

• Hệ thống chân không dầu hoàn toàn
• 1 × TMP 250 lít/giây, 1 × PVP
• Bơm vi sai qua thấu kính đã được cấp bằng sáng chế
• Chiều dài đường dẫn khí chùm tia: 10 mm hoặc 2 mm
• Thời gian rút: ≤ 3.5 phút đến chân không cao và ≤ 4.5 phút đến ESEM
• Áp suất ESEM lên đến 2,600 Pa (H2O, mặc định) hoặc 4,000 Pa (N2, bộ dụng cụ khí phụ trợ cần thiết)

Giá đỡ mẫu

• Giá đỡ SEM đa mẫu tiêu chuẩn gắn trực tiếp lên bệ mẫu, chứa tới 18 chốt tiêu chuẩn (⌀ 12 mm), không cần dụng cụ để gắn mẫu
• Giá đỡ đa năng* cho 18 chốt, ba chốt nghiêng trước, mẫu mặt cắt ngang và mẫu STEM
• Giá đỡ wafer và tùy chỉnh*

Bệ mẫu và mẫu

• Loại: bệ goniometer eucentric, động cơ 5 trục
• XY: 110 × 110 mm
• Độ lặp lại: < 3.0 μm (@ nghiêng 0°)
• Z động cơ: 65 mm
• Xoay: n×360°
• Nghiêng: -15° / +90°
• Chiều cao mẫu tối đa: Độ hở 85 mm đến điểm eucentric (10 mm). Hỗ trợ các mẫu cao hơn (>200 mm) với bệ mẫu ở góc nghiêng 90°
• Trọng lượng mẫu tối đa:
• 500 g ở bất kỳ vị trí bệ mẫu nào
• Lên đến 5 kg ở góc nghiêng 0° (có một số hạn chế)
• Kích thước mẫu tối đa: Đường kính 122 mm với X,Y đầy đủ, xoay (mẫu lớn hơn có thể với hành trình hoặc xoay bệ mẫu hạn chế)

Hệ thống điều khiển

• GUI 64-bit với Windows 10, bàn phím, chuột quang học
• Màn hình LCD 24 inch, WUXGA 1920 × 1200 (màn hình thứ hai tùy chọn)
• Giao diện người dùng đồ họa có thể tùy chỉnh, với tối đa bốn chế độ xem hoạt động đồng thời
• Đăng ký hình ảnh
• Gắn kết điều hướng
• Phần mềm phân tích hình ảnh
• Chức năng Hoàn tác / Làm lại
• Hướng dẫn người dùng cho các hoạt động cơ bản / ứng dụng

Bộ xử lý hình ảnh

• Phạm vi thời gian dừng từ 50 ns đến 25 ms/pixel
• Lên đến 6144×4096 pixel
• Loại tệp: TIFF (8-, 16-, 24-bit), JPEG hoặc BMP
• Hiển thị hình ảnh một khung hoặc 4 chế độ xem
• SmartSCAN (trung bình hoặc tích hợp 256 khung hình, tích hợp và trung bình dòng, quét xen kẽ)
• DCFI (Drift Compensated Frame Integration) (tùy chọn)

Phụ kiện in-situ (tùy chọn)

• Giai đoạn lạnh Peltier từ -20°C đến +55°C điều khiển bằng phần mềm
• Giai đoạn gia nhiệt ESEM 1,000°C điều khiển bằng phần mềm
• Giai đoạn gia nhiệt chân không cao 1,100°C điều khiển bằng phần mềm
• µHeater 1,200°C điều khiển bằng phần mềm
• Giai đoạn gia nhiệt ESEM 1,400°C điều khiển bằng phần mềm
• Các bộ điều khiển thao tác
• Giai đoạn Cryo
• Trạm thăm dò điện / nhiều thăm dò

Tùy chọn hệ thống

• Giảm tốc chùm tia với độ lệch bệ mẫu từ -4,000 V đến +50 V
• Bộ tắt chùm tia nhanh
• Làm sạch mẫu / buồng: CryoCleaner, Bộ làm sạch Plasma tích hợp
• Công nghệ chân không QuickLoader™ của Thermo Scientific™ – khóa tải để chuyển mẫu nhanh
• PC hỗ trợ
• Giao diện người dùng thủ công
• Joystick
• Phân tích: EDS, EBSD, WDS chùm tia song song, CL, Raman
• Động cơ tạo mẫu tích hợp 16-bit, các mô-đun quang khắc bằng chùm tia điện tử
• Đồng hồ đo dòng mẫu
• Bộ dụng cụ giá đỡ mẫu
• Vỏ cách âm cho bơm chân không
• Cổng điện đa dụng 7 hoặc 52 chân
• Tùy chọn bơm chân không không dầu
• Bộ khởi động SEM

Tùy chọn phần mềm

• Phần mềm Maps™ của Thermo Scientific™ để thu thập khu vực lớn tự động sử dụng ghép nối và ghép khâu; công việc tương quan
• Phần mềm AutoScript™ 4 của Thermo Scientific™ – giao diện lập trình ứng dụng dựa trên Python
• TopoMaps để tô màu hình ảnh, phân tích hình ảnh và tái tạo bề mặt 3D
• Phần mềm phân tích hình ảnh nâng cao
• Phần mềm điều khiển từ xa

Tài liệu

• Hướng dẫn Người dùng Trực tuyến
• Sổ tay hướng dẫn vận hành
• Trợ giúp trực tuyến
• Chuẩn bị cho dịch vụ RAPID™ của Thermo Scientific™ (hỗ trợ chẩn đoán từ xa)

Bảo hành và Đào tạo

• Bảo hành một năm
• Lựa chọn các hợp đồng bảo trì dịch vụ
• Lựa chọn các hợp đồng đào tạo vận hành / ứng dụng

Yêu cầu lắp đặt

(Tham khảo hướng dẫn cài đặt trước để biết dữ liệu chi tiết)

• Nguồn điện:
• Điện áp 100 – 240 V AC (-6%, +10%)
• Tần số 50 hoặc 60 Hz (±1%)
• Tiêu thụ: <3.0 kVA cho kính hiển vi cơ bản
• Môi trường:
• Nhiệt độ (20 ± 3)°
• Độ ẩm tương đối dưới 40%
• Các trường điện từ AC lạc hướng
• Kích thước cửa tối thiểu: 0.9 m rộng × 1.9 m cao
• Trọng lượng: bàn điều khiển cột 550 kg
• Khuyến nghị dùng nitơ khô để thông hơi
• Âm học: 68 dBC (khảo sát trang web cần thiết vì phổ âm thanh liên quan)
• Rung sàn: khảo sát trang web cần thiết vì phổ rung sàn liên quan
• Bàn cách ly rung động chủ động tùy chọn

Vật tư tiêu hao (danh sách một phần)

• • Sợi đốt tungsten
• • Khẩu độ
• • Dầu bơm quay

(TUỲ CHỌN)