CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ KHOA HỌC KỸ THUẬT AN DƯƠNG
info@adgroup.vn
Giá bán: Đang cập nhật
Liên hệ ngayHệ thống kiểm tra phóng tĩnh điện hai chân để kiểm tra wafer bán dẫn.
Ứng dụng
EDS Semiconductor
Qualification
Tính năng chính
Kiểm tra tuân thủ hoàn toàn
Kiểm tra Mô hình cơ thể người (HBM) và Mô hình máy (MM) tuân thủ hoàn toàn theo các tiêu chuẩn công nghiệp mới nhất.
ESD cấp hệ thống
Mạng ESD cấp hệ thống thực 150pF/330Ω (không phải trình giả lập 50Ω) có sẵn để đáp ứng các yêu cầu Human Metal Model (HMM) được đề xuất.
Đầu dò wafer
Kết nối 2 chân qua đầu dò wafer đến bất kỳ thiết bị nào trong gói, khuôn hoặc wafer.
Phân tích lỗi
Các phép đo dấu vết đường cong trước và sau để phân tích lỗi so sánh.
Giao diện máy hiện sóng
Giao diện máy hiện sóng (GPIB, USB hoặc TCP/IP) với chức năng suy giảm bên trong tự động.
Lưu trữ
Lưu trữ tất cả các dạng sóng với chức năng phân tích tự động bằng các tiêu chuẩn công nghiệp mới nhất.
Thông số kỹ thuật
|
Waveforms |
HMM - Proposed
ESDA HMM; HBM - JEDEC/ESDA JS-001, MIL-STD 883, and AEC Q100-002; MM - ESDA
STM5.2, JEDEC JESD22-A115, and AEC Q100-003 |
|
ZAP Voltage |
+/- 15 V to 12 kV for HMM and HBM and +/- 50
V to 2 kV for MM |
|
Độ phân giải ZAP Voltage |
1V |
|
Độ chính xác ZAP Voltage |
1% of set point +/-5 V source performance
ZAP |
|
ZAP count/interval range |
1 to 9999 count / 0.3 to 10 second intervals |
|
Theo dõi đường cong |
Điện áp: 0 đến 200 V (tham khảo nhà máy để biết điện áp cao hơn) Độ phân giải: 10 mV Phạm vi điện áp: 200 mV, 2 V, 20 V, 200 V Dòng điện: 0 đến 1 A Độ phân giải: 100 nA Phạm vi dòng điện: 1 μA, 10 μA, 100 μA, 1 mA, 10 mA, 100 mA, 1 A Độ chính xác 0,5% phạm vi Đầu ra: 22 W: 21 V @ 1 A đến 210 V @ 0,1 A Phát hiện điện trở: 1 ohm đến 200 M ohm Điểm đo: 10 đến 250 |
|
Pass/ Fail Criteria |
Giá trị tương đối và tuyệt đối |
|
Kích thước bộ điều khiển chính |
43.2 cm (17 in) W x 43.2 cm (17 in) D x 13.2
cm (5.2 in) H |
|
Chế độ chân không thấp |
16.4 cm (6 in) W x 12.7 cm (5 in) D x 8.9 cm (3.5 in) H |
|
Trọng lượng |
Bộ điều khiển: 8,4 Kg (18,5 lbs) Pod: 1,4 Kg (3 lbs) |
|
Bộ điều khiển chính Nguồn điện |
100 đến 240 VAC, 2 Amp, 50/60 Hz |
|
Phạm vi nhiệt độ |
Nhiệt độ hoạt động: +15°C đến +40°C (+59°F đến +104°F) Nhiệt độ không hoạt động: 4°C đến +60°C (+40°F đến +140°F) Phạm vi độ ẩm: 30-60% không ngưng tụ |
|
Yêu cầu về nguồn điện |
Hệ thống: 100-240 VAC, 2A, 50/60 Hz Máy tính và màn hình: 100-240 VAC, 6,5A, 50/60 Hz |
Để biết thêm thông tin chi tiết về hệ thống Pegasus ESD Test System, xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/electrical-failure-analysis-systems/pegasus.html
Hoặc liên hệ trực tiếp với ADGroup
