CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ KHOA HỌC KỸ THUẬT AN DƯƠNG
info@adgroup.vn
Giá bán: Đang cập nhật
Liên hệ ngayPhân tích lỗi điện của toàn bộ tấm bán dẫn lên đến 300mm trong điều kiện sản xuất.
Ứng dụng
Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
Phân tích lỗi chất bán dẫn
Các tính năng chính
Chụp ảnh điện áp laser
Chụp ảnh điện áp laser (LVI), hiển thị vị trí vật lý của các bóng bán dẫn đang hoạt động ở tần số cụ thể trên hệ thống Meridian WS-DP.
Dò điện áp laser CW
Dò điện áp laser sóng liên tục (CW-LVP) thu thập dữ liệu dạng sóng chức năng trên hệ thống Meridian WS-DP.
Kính hiển vi phát xạ photon
Kính hiển vi phát xạ photon (PEM) trên nền tảng Meridian dựa trên sự kết hợp tối ưu giữa camera InGaAs hoặc DBX có độ nhạy cao và quang học hiệu chỉnh quang sai khẩu độ số (NA) cao. Hệ thống Meridian WS-DP cung cấp hình ảnh xuyên silicon có độ phân giải cao để phân tích thiết bị mặt sau. Độ nhiễu thấp và độ nhạy cao cho phép dữ liệu phát xạ với tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu không gì sánh kịp, dẫn đến phát hiện lỗi nhanh chóng ở cấp độ bóng bán dẫn. Cấu hình DBX cung cấp kết quả hàng đầu trong ngành ngay cả trên các thiết bị dưới 0,5 Vdd..
Thông số kỹ thuật
|
Cơ khí |
Khả năng tương thích ATE |
Thiết bị kiểm tra ATE có sẵn trên thị trường và các giải pháp tùy chỉnh |
|
Thẻ thăm dò / Bảng tải |
Thẻ thăm dò tròn 9,5", 12", 18" Bảng tải thăm dò trực tiếp Thẻ thăm dò 440mm & 300mm Các giải pháp tùy chỉnh có sẵn cho hình học không chuẩn |
|
|
Số lượng chân thăm dò |
Mảng thăm dò từ <100 đến >10.000 chân |
|
|
Chân không của bệ đỡ wafer |
Lực chân không 20lbs cho độ ổn định của wafer |
|
|
Kiểm soát chuyển động |
Die-to-die stepping |
Được hỗ trợ và tích hợp vào phần mềm Sierra |
|
Chuyển động |
+/- 5 độ quay Độ phân giải theta 16um |
|
|
Hỗ trợ wafer/DUT |
Thẻ thăm dò tròn 9,5", 12", 18" Bảng tải thăm dò trực tiếp Thẻ thăm dò 440mm & 300mm Các giải pháp tùy chỉnh có sẵn cho hình học không chuẩn |
|
|
Độ chính xác của bệ đỡ kính hiển vi XYZ |
1 um |
|
|
Độ chính xác của bệ đỡ wafer XY |
5um |
|
|
Khả năng tương thích kích thước khuôn |
Một loạt các giải pháp |
Để biết thêm thông tin chi tiết về hệ thống Meridian WS-DP System, xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/electrical-failure-analysis-systems/meridian-ws-dp.html#features
Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup
