Ứng dụng

Phân tích lỗi bán dẫn bằng cách sử dụng đầu dò chùm tia điện tử

Tính năng chính

Giải quyết các thách thức định vị lỗi

Thiết kế phân phối điện mặt sau mới đã tạo ra điểm uốn đáng kể cho sản xuất và thiết kế bán dẫn. Định vị lỗi quang học truyền thống không còn khả thi do tia laser không thể xuyên qua các kết nối kim loại và thăm dò với độ chính xác cần thiết. Hệ thống Meridian EX sử dụng công nghệ tương phản điện áp chủ động (e-beam) để cho phép thăm dò kết nối kim loại. Vì định vị lỗi nút tiên tiến đòi hỏi đầu dò mịn hơn so với tia laser có thể cung cấp, Hệ thống Meridian EX cung cấp độ phân giải <20 nm, so với 150 nm có thể đạt được bằng công nghệ dựa trên laser.

Làm mờ chùm tia tốc độ cao

Vì các nodes tiên tiến đòi hỏi dung sai sản xuất chặt chẽ hơn, nên việc đảm bảo hiệu suất điện nhất quán ngày càng trở nên khó khăn. Do các vấn đề về thiết kế hoặc thay đổi quy trình, các thiết bị có thể không đáp ứng được mức hiệu suất mong đợi hoặc chúng có thể gặp phải các lỗi "mềm" chỉ xuất hiện khi được thử nghiệm "ở tốc độ cao". Hệ thống Meridian EX, được trang bị bộ làm mờ chùm tia điện tử 2 GHz tốc độ cao và thiết bị điện tử xung tiên tiến, có thể phát hiện cả khuyết tật cứng và mềm, tạo điều kiện phân tích khuyết tật chính xác trên các thiết bị logic tiên tiến nhất.

Quy trình định vị lỗi

Hệ thống Meridian EX đáp ứng độc đáo nhu cầu phân tích lỗi logic tiên tiến cho nhiều thế hệ. Giao diện phần mềm tiêu chuẩn công nghiệp của hệ thống đảm bảo hoạt động thân thiện với người dùng và tích hợp liền mạch với các quy trình làm việc trong phòng thí nghiệm hiện có, chẳng hạn như FIB-SEM của Thermo Scientific hoặc các giải pháp DualBeam để chuẩn bị trước khi thăm dò và trì hoãn sau khi thăm dò.

Điểm nổi bật về mặt kỹ thuật của Hệ thống Meridian EX

Cột SEM Elstar Thermo Scientific có độ phân giải cực cao, phát xạ trường với:

- Bộ phận che chùm tia nhanh tích hợp

- Ống kính vật kính từ tính nhúng

- Chụp ảnh và thăm dò điện áp điện tử (EVx) bao phủ một phạm vi tần số hoạt động rộng để trực quan hóa hoạt động của bóng bán dẫn bao gồm cả hình ảnh pha

- Khoảng di chuyển trục XY của bệ giữ mẫu: +/-77 mm

- Khả năng chịu tải của bệ giữ mẫu: 1,5 kg

- Kích thước bảng tải: 9 x 9” (Kích thước thực tế có thể thay đổi tùy thuộc vào sơ đồ lắp và đầu nối.)

Để biết thêm thông tin chi tiết về Meridian EX , xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/electrical-failure-analysis-systems/meridian/instruments/meridian-ex.html

Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup