Ứng dụng

Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn

Phân tích lỗi chất bán dẫn

Các tính năng chính

Xác định lỗi quang học động để xác định các lỗi tham số

Đặc tính trong điều kiện thử nghiệm cho các thiết bị tiên tiến ở node10 nm trở xuống

LADA phân giải theo thời gian tùy chọn

Băng thông cao để phân tích thời gian chính xác

Băng thông 7 GHz cho các thử nghiệm tốc độ cao

Đo thời gian tăng 50 pico giây

Độ phân giải quang học nâng cao để định vị lỗi tốt hơn

Ánh sáng hồng ngoại và khả kiến ​​có độ phân giải cao

Phân tích ở bước sóng 785 nm giới hạn chuẩn bị mẫu ở mức 5 µm

Kỹ thuật

Hệ thống Meridian 7 có hai cấu hình:

Hệ thống Meridian 7D: Hệ thống kính hiển vi quét laser (LSM) SIL kép 1064 nm và 785 nm kết hợp

Hệ thống Meridian 7S: Hệ thống LSM chỉ 785 nm với tùy chọn làm mát mẫu tiên tiến để thử nghiệm tốc độ cao khi cần quản lý nhiệt mẫu để ngăn ngừa sự mất kiểm soát nhiệt làm thay đổi hiệu suất chip

Xác định Lỗi quang học 

Thiết kế ngày càng phức tạp làm phức tạp việc xác định lỗi và khuyết tật trong sản xuất chất bán dẫn. Các kỹ thuật xác định lỗi quang học cho phép bạn phân tích hiệu suất của các thiết bị hoạt động bằng điện để xác định các khuyết tật quan trọng gây ra lỗi thiết bị.

Để biết thêm chi tiết về hệ thống Meridian 7 , xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/electrical-failure-analysis-systems/meridian-7.html#features 

Hoặc liên hệ trực tiếp với ADGroup