Phân tích linh hoạt và tăng tốc độ EDS

• Cấu trúc hình học EDS tốt nhất trong phân khúc của Sigma 560 giúp tăng năng suất phân tích của bạn. Hai cổng EDS đối diện $180^\circ$ đảm bảo hiệu suất thu nhận và khả năng lập bản đồ không bị bóng râm (shadow-free mapping), ngay cả ở dòng chùm tia thấp và điện áp gia tốc thấp.

• Các cổng bổ sung cho EBSD và WDS trên buồng chân không cho phép thực hiện các phân tích mở rộng vượt xa kỹ thuật EDS thông thường.

• Ngay cả các mẫu không dẫn điện cũng có thể được phân tích nhờ chế độ NanoVP lite mới, mang lại nhiều tín hiệu hơn và độ tương phản cao hơn.

• Đầu dò aBSD4 mới giúp dễ dàng thu được hình ảnh trên các mẫu có bề mặt gồ ghề/địa hình cao (topographical samples).

Tự động hóa các thử nghiệm in situ của bạn

Một phòng thí nghiệm tích hợp hoàn chỉnh cho thử nghiệm tự động

• Phòng thí nghiệm in situ dành cho Sigma, một giải pháp tích hợp hoàn toàn, cho phép thu được kết quả thử nghiệm kéo và gia nhiệt độc lập với người vận hành trong một quy trình tự động, không cần giám sát.

• Mở rộng quy trình làm việc của bạn hơn nữa bằng cách phân tích các đặc tính kích thước nano ở định dạng 3D: thực hiện chụp cắt lớp 3D STEM hoặc thực hiện phân đoạn hình ảnh dựa trên AI.

Image Challenging Samples Easily

See the Difference at 1 kV and Below

• Achieve best informative imaging and analysis at 1 kV or even 500 V: low-kV resolution for Sigma 560 is specified as 1.5 nm at 500 V.

• Investigate challenging samples easily under variable pressure in the new NanoVP lite mode, with acceleration voltages as low as 3 kV, using either the new aBSD or C2D detector.

• If you are studying electronic devices, you will want to maintain a clean environment. Protect your chamber from contamination by means of a (highly recommended) plasma cleaner, and with the new large airlock that permits shuttling of 6” wafers.