Chat ngay
+84 2438612612
CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ KHOA HỌC KỸ THUẬT AN DƯƠNG
info@adgroup.vn
Colorlib Template

Helios 6 HD FIB-SEM

Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific

Giá bán: Đang cập nhật

Liên hệ ngay

Quy trình làm việc TEM hiệu quả hơn và dữ liệu TEM tốt hơn

Ứng dụng

  • Helios 6 HD FIB-SEM Helios 6 HD FIB-SEM đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng về chuẩn bị mẫu TEM cho bán dẫn
  • Thiết bị chuẩn bị mẫu TEM
  • Chất lượng mẫu TEM
  • TEM metrology

Những điểm nổi bật về kỹ thuật của Helios 6 HD FIB-SEM

  • Cột FIB mới với khả năng căn chỉnh nguồn và cột tự động cung cấp sự ổn định cao hơn và khả năng mài ở điện áp thấp (low-kV).
  • Động cơ quét và tạo mẫu kỹ thuật số mới cho phép quét SEM và mài FIB đồng thời, giúp tăng độ chính xác và năng suất cao hơn.
  • Phần mềm AutoTEM 6 - Ứng dụng được thiết kế để khai thác tối đa nền tảng phần cứng mới của Helios 6 HD FIB-SEM. Phần mềm này sử dụng AI để tự động căn chỉnh tất cả các vị trí lưới/ngón tay, cung cấp khả năng quản lý lưới nâng cao và giảm thời gian cài đặt.
  • Khoảng thời gian lâu hơn giữa các lần thay kim NanoManipulator EasyLift và quy trình thay thế được tối ưu hóa, dẫn đến tăng khả năng sẵn có của hệ thống và kết quả nhất quán.

Thông số kỹ thuật

Nguồn Electron 

Schottky thermal field emitter, hơn 1 năm tuổi thọ

Nguồn Ion 

Gallium liquid metal, 1,000 giờ

Landing Voltage

–  20 V–30 kV SEM
– 500 V–30 kV FIB

Độ phân giải SEM 

– Optimal WD 0.6 nm @ 2–15 kV, 0.7 nm @ 1 k V, 1.0 nm @ 500 V
– Coincident WD 0.6 nm @ 15 kV, 1.2 nm @ 1 kV

FIB độ phân giải trùng WD

– 4.0 nm @ 30 kV using preferred statistical method
– 2.5 nm @ 30 kV using selective edge method
– 500 nm @ 500 V using preferred statistical method

In situ TEM sample liftout

– Thermo Scientific EasyLift™ NanoManipulator

Bệ đỡ mẫu

– Five-axis, all-Piezo motorized
– Auto-QuickFlip Shuttle
– Automated loadlock

Loại mẫu

– Bare or de-packaged die

Cỡ mẫu

36 mm x 66 mm

Phần mềm ứng dụng

AutoTEM 6 TEM Software sample preparation suite

Các tùy chọn chính

Chùm tia hóa học

– Standard, single Gas Injection System (GIS)
– Thermo Scientific MultiChem™ Gas Delivery System

Phần mềm

Thermo Scientific Auto Slice & View™ Software, CAD Navigation

Để biết thêm thông tin chi tiết về Helios 6 HD FIB-SEM, xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/dualbeam-fib-sem-microscopes/helios/instruments/helios-6-hd.html#highlights

 

Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADgroup để được hỗ trợ kỹ thuật

Sản phẩm liên quan

XPS NEXSA
XPS K-Alpha
Axia ChemiSEM
Volumescope 2 SEM