Ứng dụng

Phay chùm ion rộng để đánh bóng bề mặt và mặt cắt ngang của mẫu để chụp ảnh SEM và xác định đặc tính vật liệu

Các tính năng chính

Nguồn ion năng lượng cao

Nguồn ion năng lượng cực cao có điện áp tăng tốc tối đa là 16 kV để nhanh chóng nghiền và đánh bóng bề mặt mẫu.

Khả năng tương thích của Hệ thống CleanConnect

Chuyển mẫu an toàn từ Hệ thống CleanMill sang buồng chứa mẫu kính hiển vi bằng Quy trình làm việc IGST (chuyển mẫu khí trơ) của Thermo Scientific để quan sát vật liệu ở trạng thái tự nhiên của chúng.

Đánh bóng bề mặt cực mịn

Hệ thống CleanMill được thiết kế có súng ion năng lượng thấp tùy chọn để đánh bóng cuối cùng bề mặt mẫu.

Giám sát thời gian thực

Màn hình cảm ứng tích hợp và camera độ phân giải cao giúp bạn theo dõi quá trình nghiền chùm ion rộng.

Điện áp tăng tốc rộng

Hệ thống cung cấp năng lượng ion trong phạm vi từ 2 kV đến 16 kV và có quang học chuyên dụng để đánh bóng điện áp cực thấp từ 100 V đến 2 kV.

Nghiền lạnh

Bệ đông lạnh tùy chọn cung cấp khả năng làm mát LN2 với chức năng nạp lại tự động để làm việc với các vật liệu cực kỳ nhạy cảm với chùm tia.

Specifications

Hệ quang học ion

Nguồn ion năng lượng cực cao với năng lượng nghiền liên tục và độc lập có thể điều chỉnh

• 2 đến 16 kV
• Phạm vi dòng điện chùm ion: 20 đến 500 μA
• Tốc độ phun tối đa: >500 μm/giờ

Nguồn năng lượng thấp tùy chọn

• 0.1 đến 2kV
• Phạm vi dòng điện chùm ion: 10 đến 80 μA
• Cài đặt nguồn ion tự động

Giá đỡ mẫu và kích thước mẫu tối đa:

Giá đỡ mẫu đánh bóng bề mặt tiêu chuẩn

• 30 mm (đường kính) x 15 mm (chiều cao) Giá đỡ mẫu tương thích với Hệ thống CleanConnect

Đánh bóng bề mặt

• 28 mm (đường kính) x 3 mm (chiều cao)
• Giá đỡ có thể hoán đổi cho nhau để cho phép 20,5 mm (đường kính) x 8,5 mm (chiều cao)

Đánh bóng mặt cắt ngang (Cross-section)

• Độ dốc 90°: 10 mm x 10 mm x 3 mm

Hệ thống chụp ảnh

Camera CMOS độ phân giải cao với zoom quang cố định 10x và zoom kỹ thuật số liên tục có thể điều chỉnh lên đến độ phóng đại 120x

Hệ thống chân không

• Màng chắn không dầu và bơm phân tử turbo với đồng hồ đo chân không Pirani và Penning
• Nguồn cung cấp khí: argon có độ tinh khiết cao với điều khiển lưu lượng khí có độ chính xác cao

Bệ đỡ mẫu

• Phạm vi nghiêng mẫu: 0 đến 180° theo các bước 0,1°
• Xoay mẫu: Xoay trong mặt phẳng 360°
• Dao động mẫu: ±1° đến ±180° theo các bước 1°

Trạm máy tính điều khiển

Giao diện người dùng đồ họa màn hình cảm ứng dễ sử dụng (GUI) 

• Thiết lập hệ thống Cài đặt tham số phay
• Điều khiển hoạt động

Cảm ứng GUI với Microsoft Windows 11

Để biết thêm thông tin chi tiết về hệ thống CleanMill Broad Ion Beam System, xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/sample-preparation-equipment-em/cleanmill-broad-ion-beam-system.html

Hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup.