Giá bán: Đang cập nhật
Liên hệ ngayTạo mẫu mạch bán dẫn, gỡ lỗi và sửa chữa mạch bằng hệ thống Centrios và Centrios HX Circuit Edit.
Ứng dụng
Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
Phân tích lỗi chất bán dẫn
Các tính năng chính
Độ phân giải hình ảnh và phay
Hệ thống Centrios – Độ phân giải cao ở dòng điện chùm tia thấp để chỉnh sửa hiệu quả, an toàn bằng Cột FIB Tomahawk WDR của Thermo Scientific đã được chứng minh tại hiện trường.
Hệ thống Centrios HX – Độ phân giải cao hơn 25% ở dòng điện chùm tia thấp hơn 4X để chỉnh sửa hiệu quả, an toàn bằng Cột FIB Celta của Thermo Scientific mới với các cải tiến về cấu hình chùm tia mới nhất.
Độ chính xác và khả năng kiểm soát phay được nâng cao
Độ phẳng/đồng đều, dừng trễ/khắc và tạo độ sắc nét cao các lỗ thông có tỷ lệ khung hình cao bằng hệ thống cung cấp khí vòi phun kép đồng thời và danh mục hóa chất khí độc quyền.
Nền tảng chỉnh sửa mạch chuyên dụng
Được thiết kế dành riêng cho việc chỉnh sửa mạch, Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios và Centrios HX tích hợp các thành phần chính, chẳng hạn như cung cấp hóa chất khí, cho phép tối ưu hóa các ứng dụng thủ công và tự động.
Chi phí vận hành thấp
Phần mềm Thermo Scientific NEXS CAD để điều hướng và phần mềm Thermo Scientific iFAST tùy chỉnh tự động hóa để cải thiện hiệu quả và dễ sử dụng.
Thông số kỹ thuật
|
Centrios System |
Centrios HX System |
Ion column |
Cột ion Tomahawk WDR của Thermo Scientific, kim loại lỏng gali, tuổi thọ 1000 giờ |
Cột FIB Thermo Scientific Celta
|
Độ phân giải hình ảnh |
3.5 nm @ 30 kV |
2.5nm @ 30 kV |
Dòng điện chùm tia |
1.2 pA – 65 nA |
Dòng điện tối đa 50 nA |
Bệ đỡ mẫu |
5 trục cơ giới eucentric Chuyển động X, Y 100 mm Nghiêng -10° to 60° Xoay 360° |
|
Phát hiện End-point |
Dòng điện SE/mẫu đồng thời |
Để biết thêm thông tin chi tiết về Centrios Circuit Edit Systems, xin vui lòng truy cập website: https://www.thermofisher.com/vn/en/home/electron-microscopy/products/circuit-edit-systems/centrios.html#features
hoặc liên hệ trực tiếp đến ADGroup