Nguồn

• Cột SEM phát xạ trường độ phân giải cao với:
• Súng phát xạ trường Schottky độ ổn định cao để cung cấp dòng phân tích độ phân giải cao ổn định
• Ống kính cuối kết hợp: ống kính mục tiêu điện từ, từ trường tự do và từ trường ngâm (tùy chọn)
• Hình học ống kính mục tiêu 60°: cho phép nghiêng mẫu lớn hơn
• Khẩu độ tự động sưởi để đảm bảo sạch sẽ và thay đổi khẩu độ không chạm tay
• Công nghệ SmartAlign: công nghệ không cần căn chỉnh người dùng
• Bơm vi sai qua ống kính cho chân không thấp (tùy chọn) giảm thiểu trượt tia để phân tích chính xác nhất và độ phân giải cao nhất
• Giảm tốc tia với độ lệch từ -4.000 V đến +600 V
• Điều khiển dòng tia liên tục và tối ưu hóa góc khẩu độ
• Khử dao động kép
• Lắp đặt và bảo trì súng dễ dàng: tự động sấy khô, tự động khởi động, không căn chỉnh cơ học
• Chế độ PivotBeam để chọn kênh điện tử khu vực, còn gọi là chế độ “chùm dao động” (chỉ có ở mẫu Apreo 2 S)
• Đảm bảo tuổi thọ tối thiểu của nguồn: 24 tháng

Độ phân giải chùm điện tử

Apreo 2 C

• Ống kính cuối Điện tĩnh
• Chân không cao
• 0.7 nm @ 30 kV (STEM)
• 0.9 nm (BD) @ 15 kV (BD)
• Không bao gồm @ 15 kV (6.4 nA, WD 10 mm)
• 1.2 nm @ 1 kV
• 1.0 nm (BD) @ 1 kV (BD)
• Không bao gồm @ 1 kV (BD, WD 10 mm)
• 1.2 nm @ 500 V (BD)
• Không bao gồm @ 200 V (BD)
• Chân không cao (tùy chọn)
• 1.8 nm @ 3 kV (30 Pa)
• 1.2 nm @ 15 kV (30 Pa)

Apreo 2 S

• Ống kính cuối Điện tĩnh
• Chân không cao
• 0.7 nm @ 30 kV (STEM)
• 0.5 nm (BD) @ 15 kV (BD)
• 1.9 nm @ 15 kV (6.4 nA, WD 10 mm)
• 0.9 nm @ 1 kV
• 0.8 nm (BD) @ 1 kV (BD)
• 1.0 nm @ 1 kV (BD, WD 10 mm)
• 0.8 nm @ 500 V (BD)
• 1.2 nm @ 200 V (BD)
• Chân không cao (tùy chọn)
• 1.8 nm @ 3 kV (30 Pa)
• 1.2 nm @ 15 kV (30 Pa)

Không gian tham số chùm điện tử

• Phạm vi dòng chùm: 1 pA đến 50 nA (cấu hình 400 nA cũng có sẵn)
• Phạm vi điện áp gia tốc: 200 V – 30 kV
• Phạm vi năng lượng đáp: 20 eV – 30 keV
• Chiều rộng trường ngang tối đa: 3 mm tại 10 mm WD (tương ứng với độ phóng đại tối thiểu 29x)

Buồng

• Chiều rộng trong: 340 mm
• Khoảng cách làm việc phân tích: 10 mm
• Cổng: 12
• Góc lấy mẫu EDS: 35°
• Ba máy dò EDS đồng thời có thể, hai ở 180°
• EDS/EBSD đồng phẳng vuông góc với trục nghiêng của giai đoạn

SEM Apreo 2 phát hiện tối đa bốn tín hiệu đồng thời từ bất kỳ sự kết hợp nào của các đầu dò hoặc đoạn đầu dò có sẵn (tùy chọn):

• Hệ thống phát hiện Trinity (trong ống kính và trong cột)
• T1 đầu dò phân đoạn trong ống kính dưới
• T2 đầu dò trong ống kính trên
• T3 đầu dò trong cột (tùy chọn)
• ETD—Đầu dò SE Everhart-Thornley
• DBS—Đầu dò BSED có thể thu hồi dưới ống kính (tùy chọn)
• Đầu dò SE chân không thấp (tùy chọn)
• DBS-GAD—Đầu dò phân tích khí trên ống kính (tùy chọn)
• STEM 3+—Đầu dò phân đoạn có thể thu hồi
• (BF, DF, HADF, HAADF) (tùy chọn)
• IR-CCD
• Camera Thermo Scientific Nav-Cam™ (gắn trong buồng)

Công nghệ ChemiSEM* (tùy chọn)

• Kích thước đầu dò EDS: 10, 30, hoặc 60 mm²
• Độ nhạy nguyên tố nhẹ xuống đến berylium
• Độ phân giải phổ 127 eV hoặc 129 eV
• Tùy chọn trượt cơ giới có sẵn

Hệ thống chân không

• Hệ thống chân không hoàn toàn không dầu
• 1 × 240 l/s TMP
• 1 × PVP-scroll
• 2 × IGP
• Chân không buồng (chân không cao) <6.3 × 10^-6 mbar
• (sau 12 giờ bơm)
• Thời gian hút chân không: ≤3.5 phút
• Chế độ chân không thấp tùy chọn
• Áp suất buồng 10–500 Pa
• Bộ tải Khẩu độ Giới hạn Áp suất Tự động (PLA)

Giá đỡ mẫu

• Giá đỡ đa năng tiêu chuẩn gắn trực tiếp
• trên bệ mẫu, chứa tới 18 chân cắm tiêu chuẩn (ø12 mm),
• ba chân cắm nghiêng sẵn, mẫu cắt ngang, và hai giá đỡ thanh hàng nghiêng sẵn (tùy chọn) (38° và 90°). Không cần công cụ để gắn mẫu.
• Mỗi thanh hàng tùy chọn chứa 6 lưới STEM
• Giá đỡ wafer và tùy chỉnh (tùy chọn)

Bệ mẫu và mẫu

• Loại: bệ mẫu goniometer Eucentric, 5 trục cơ giới
• XY: 110 × 110 mm
• Độ lặp lại: < 3.0 μm (@ nghiêng 0°)
• Cơ giới Z: 65 mm
• Xoay: n×360°
• Nghiêng: -15° / +90°
• Chiều cao mẫu tối đa: khoảng trống 85 mm đến điểm eucentric
• Trọng lượng mẫu tối đa:
• 500 g ở bất kỳ vị trí bệ mẫu nào
• Tới 5 kg ở nghiêng 0° (có một số hạn chế)
• Kích thước mẫu tối đa: đường kính 122 mm với X, Y, xoay đầy đủ (các mẫu lớn hơn có thể với hành trình bệ mẫu hạn chế hoặc xoay)

Hệ thống điều khiển

Giao diện người dùng đồ họa 64-bit với Windows 10, bàn phím, chuột quang học

• Màn hình LCD 24 inch, WUXGA 1920×1200
• (tùy chọn màn hình thứ hai)
• Giao diện người dùng đồ họa tùy chỉnh,
• với tối đa 4 chế độ xem hoạt động đồng thời
• FLASH tự động tinh chỉnh hình ảnh cho tiêu điểm,
• căn chỉnh ống kính và stigmator
• Đăng ký hình ảnh
• Montage điều hướng
• Phần mềm phân tích hình ảnh
• Chức năng hoàn tác / làm lại
• Hướng dẫn người dùng cho các thao tác / ứng dụng cơ bản
• Tùy chọn cần điều khiển
• Tùy chọn giao diện người dùng thủ công (bảng điều khiển núm)

Bộ xử lý hình ảnh

• Phạm vi thời gian dừng từ 25 ns đến 25 ms/pixel
• Độ phân giải lên đến 6144×4096 pixel
• Loại tệp: TIFF (8-, 16-, 24-bit), JPEG hoặc BMP
• Hiển thị hình ảnh khung đơn hoặc 4 chế độ xem
• Chế độ SmartScan (trung bình hoặc tích hợp 256 khung hình, trung bình và tích hợp đường, quét xen kẽ)
• Chế độ DCFI (tích hợp khung bù trôi)
• Cải thiện hình ảnh kỹ thuật số và bộ lọc giảm nhiễu

Tùy chọn phần mềm

• Phần mềm Maps để thu nhận tự động khu vực lớn bằng cách ghép và nối; công việc tương quan
• Phần mềm Thermo Scientific AutoScript™ 4—Giao diện lập trình ứng dụng dựa trên Python
• TopoMaps để tô màu hình ảnh, phân tích hình ảnh,
• và tái tạo bề mặt 3D
• Phần mềm phân tích hình ảnh nâng cao
• Phần mềm điều khiển từ xa

Tài liệu

• Hướng dẫn người dùng trực tuyến
• Sổ tay hướng dẫn sử dụng
• Trợ giúp trực tuyến
• Chuẩn bị cho RAPID (hỗ trợ chẩn đoán từ xa)
• Truy cập miễn phí vào các tài nguyên trực tuyến cho chủ sở hữu

Bảo hành và Đào tạo

• Bảo hành 1 năm
• Lựa chọn hợp đồng bảo trì dịch vụ
• Lựa chọn hợp đồng đào tạo vận hành / ứng dụng

Yêu cầu cài đặt

(Tham khảo hướng dẫn tiền cài đặt để biết dữ liệu chi tiết)

• Nguồn điện:
• Điện áp 100–240 V AC (-6%, +10%)
• Tần số 50 hoặc 60 Hz (±1%)
• Tiêu thụ: <3.0 kVA cho kính hiển vi cơ bản
• Điện trở đất <0.1 Ω
• Môi trường:
• Nhiệt độ (20 ± 3)°C
• Độ ẩm tương đối dưới 80%
• Từ trường AC lạc <40 nT không đồng bộ, <100nT đồng bộ cho thời gian dòng, 20 ms (mạng 50 Hz) hoặc 17 ms (mạng 60 Hz)
• Kích thước cửa tối thiểu: rộng 0.9 m × cao 1.9 m
• Trọng lượng: bệ mẫu cột 980 kg
• Khuyến nghị sử dụng khí nitơ khô để thông hơi
• Khí nén 4–6 bar, sạch, khô và không dầu
• Hệ thống làm mát
• Âm thanh: khảo sát vị trí yêu cầu,
• vì quang phổ âm thanh có liên quan
• Dao động sàn: khảo sát vị trí yêu cầu,
• vì quang phổ sàn có liên quan
• Tùy chọn bàn cách ly dao động chủ động

Vật tư tiêu hao (danh sách một phần)

• Thay thế mô-đun nguồn điện tử Schottky