Kính hiển vi phân tích vi đầu dò điện tử (EPMA)

  • Trang chủ / Sản phẩm / Kính hiển vi / Kính hiển vi đầu dò điện tử (EPMA)
  • Kính hiển vi phân tích vi đầu dò điện tử (EPMA)

    Định tính và định lượng nguyên tố vùng micro

    Giới thiệu về EPMA

    Thiết bị vi phân tích đầu dò điện tử (gọi tắt là EPMA) sử dụng chùm tia điện tử kích thước nhỏ cỡ micro (microbeam) kết hợp với quang phổ tán xạ bước song và phổ tán xạ năng lượng cho phép phân tích chính xác thành phần hóa học cũng như vị trí của mẫu.

    Tầm quan trọng chính của một EPMA là khả năng định vị chính xác, phân tích định lượng nguyên tố tại điểm có kích thước rất nhỏ (ít nhất là 1-2 micron) gọi là phân tích điểm bởi quang phổ tán xạ bước sóng (hay còn gọi là quang phổ tán sắc). Kết hợp với phổ tán xạ năng lượng, EPMA cho phép lập bản đồ phân bố cùng định lượng chính xác các nguyên tổ hóa học.

    EPMA cũng cho các hình ảnh thu được như hình ảnh điện tử thứ cấp, hình ảnh điện tử tán xạ ngược, huỳnh quang ca tốt (cathodoluminescence), phân tích pha mạng tinh thể (EBSD)….

    EPMA cung cấp kết quả tốt hơn nhiều so với SEM / EDS bởi ứng dụng của bộ WDS, độ nhạy, phân tích các nguyên tố nhẹ là ưu việt với EPMA

    Độ phân giải phổ và xác định thời gian chết tốt hơn nhiều so với EDS

    Hệ thống điều chỉnh chùm tia kích thích và bệ mẫu chỉnh tinh đảm bảo EPMA cung cấp sự ổn định vượt trội.
    Trong định tuổi monazite tại chỗ bằng cách đo U, Th và Pb cho phép kết nối các vi cấu trúc và dữ liệu geochronology do đó EPMA cung cấp một dạng mới thông tin cho các nhà địa chất.
    EPMA phân tích nhanh hơn so với phương pháp phổ khối tiêu chuẩn nhờ độ phân giải cao: với kích thước điểm nhỏ hơn 1 um, độ phân giải tốt hơn 10 đến 100 lần các phương pháp đồng vị.

    Các ứng dụng quan trọng được tìm thấy trong địa hóa học, khoáng vật, địa thời học, luyện kim , hạt nhân, khoa học vật liệu bao gồm cả thủy tinh, gốm sứ, chất siêu dẫn, xi măng, vi cơ điện tử và hóa sinh

    • Khoa học vật liệu: Phân tích chính xác thành phần phần trăm khối lượng, ô xít, cation….
    • Kim loại và hợp kim: Phân tích thành phần các nguyên tố nhẹ với độ phân giải dưới micron

    Các ứng dụng khác như: hóa học, vật lý, sinh học, vật liệu xây dựng, khảo cổ học, khoa học đất đai, nhân chủng học….

    • Địa chất: Trong hầu hết các trường hợp, EPMA được chọn để phân tích pha khoáng vật (ví dụ,các nham thạch và biến đổi địa chất), hoặc trong trường hợp vật liệu kích thước nhỏ (ví dụ, xi măng, trầm tích, thủy tinh volcanic, thiên thạch). Sự thay đổi trongthành phần nguyên tố trung tâm của khoáng vật và thông tin của nó có thể cho thông tin về lịch sử hình thành của tinh thể, bao gồm nhiệt độ, áp suất và hóa học của môi trường xung quanh. Trong một số trường hợp, có thể để xác định độ tuổi U-Th của một khoáng sản như monazit mà không cần đo tỷ lệ đồng vị. Lập bản đồ phân tích chính xác các nguyên tố vết có hàm lượng cực thấp. Phân tích đất hiếm
    • Nghiên cứu ứng dụng: Phục vụ cho nhiều ngành mang lại giá trị kinh tế như: khai thác mỏ, thăm dò tìm kiếm tài nguyên thiên nhiên như các kim loại quý hiếm, nguồn đất hiếm, dầu khí, tổng hợp vật liệu mới, vật liệu xây dựng và vật liệu bán dẫn.

    EPMA cũng có thể được sử dụng cho các nghiên cứu chuyên ngành mô hình khuếch tán, địa chất cấu trúc sử dụng EBSD, phân tích thù hình, phân tích kích thước hạt, phân tích các vật liệu tổng hợp như wafer, màng mỏng, vi mạch, bán dẫn, siêu dẫn và gốm sứ.